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基于遗传算法的透射光谱法测量薄膜光学参数
1
作者
周伟
贾宏志
涂建坤
《光学仪器》
2016年第6期539-543,共5页
基于多光束干涉理论建立了单层薄膜的透射率模型,并且得到了薄膜透射率与厚度及折射率之间的关系的数学模型,进而利用遗传算法求解该数学模型。根据薄膜透射光谱数学模型的特殊性,按照实际的精度需求,有针对性地选取了遗传算法中种群大...
基于多光束干涉理论建立了单层薄膜的透射率模型,并且得到了薄膜透射率与厚度及折射率之间的关系的数学模型,进而利用遗传算法求解该数学模型。根据薄膜透射光谱数学模型的特殊性,按照实际的精度需求,有针对性地选取了遗传算法中种群大小、交叉概率和变异概率等关键参数,并且针对透射光谱的具体情况,设计了离散化的适应度函数。最终的拟合结果表明,基于遗传算法的透射光谱法能够快速、准确地得到薄膜的光学参数。
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关键词
透射光谱
薄膜光学参数
遗传算法
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职称材料
题名
基于遗传算法的透射光谱法测量薄膜光学参数
1
作者
周伟
贾宏志
涂建坤
机构
上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心
上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室
上海理工大学光电信息与计算机工程学院
上海电缆研究所
出处
《光学仪器》
2016年第6期539-543,共5页
文摘
基于多光束干涉理论建立了单层薄膜的透射率模型,并且得到了薄膜透射率与厚度及折射率之间的关系的数学模型,进而利用遗传算法求解该数学模型。根据薄膜透射光谱数学模型的特殊性,按照实际的精度需求,有针对性地选取了遗传算法中种群大小、交叉概率和变异概率等关键参数,并且针对透射光谱的具体情况,设计了离散化的适应度函数。最终的拟合结果表明,基于遗传算法的透射光谱法能够快速、准确地得到薄膜的光学参数。
关键词
透射光谱
薄膜光学参数
遗传算法
Keywords
transmitted spectrum
thin film optical parameters
genetic algorithm
分类号
TN20 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
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1
基于遗传算法的透射光谱法测量薄膜光学参数
周伟
贾宏志
涂建坤
《光学仪器》
2016
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