LSI 薄膜台阶测量仪的研制

本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满足了ＬＳＩ生产线上的要求。

激光演示牛顿半环

用激光照射牛顿半环来演示薄膜台阶的等厚干涉现象和测定薄膜厚度。

等厚干涉牛顿半环

本文给出了等厚干涉牛顿半环，分析了薄膜台阶产生的反射牛顿半环，并给出了利用牛顿半环测薄膜厚度的方法。