TH1703 2003031635主动调节刚性支撑薄膜型反射镜面形调整机构的研究=Micro-move devices for supporting and adjusting large membranemirrors[刊,中]/叶露(中科院长春光机所.吉林,长春(130022))∥光学精密工程.—2002,10(2).—201-20...TH1703 2003031635主动调节刚性支撑薄膜型反射镜面形调整机构的研究=Micro-move devices for supporting and adjusting large membranemirrors[刊,中]/叶露(中科院长春光机所.吉林,长春(130022))∥光学精密工程.—2002,10(2).—201-204介绍了主动调节刚性支撑薄膜型反射镜的概念,这种薄膜型反射镜由美国率先提出,并制造出口径500 mm厚2 mm的模型镜,反射镜的面形通过均匀分布的致动器的微量移动来调整,致动器的最小位移是20 nm。美国使用压电陶瓷作致动器,有利于实现系统的轻量化。展开更多
文摘TH1703 2003031635主动调节刚性支撑薄膜型反射镜面形调整机构的研究=Micro-move devices for supporting and adjusting large membranemirrors[刊,中]/叶露(中科院长春光机所.吉林,长春(130022))∥光学精密工程.—2002,10(2).—201-204介绍了主动调节刚性支撑薄膜型反射镜的概念,这种薄膜型反射镜由美国率先提出,并制造出口径500 mm厚2 mm的模型镜,反射镜的面形通过均匀分布的致动器的微量移动来调整,致动器的最小位移是20 nm。美国使用压电陶瓷作致动器,有利于实现系统的轻量化。