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固态电解质Li_(1.3)Al_(0.3)Ti_(1.7)(PO_(4))_(3)薄膜的溅射制备及其性能研究 被引量：1
1
作者 程实 汪建元 +2 位作者 徐剑芳 黄巍 陈松岩 《厦门大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期800-807,共8页
通过射频磁控溅射制备Li_(1.3)Al_(0.3)Ti_(1.7)(PO_(4))_(3)(LATP)薄膜.X-射线衍射表征表明沉积的LATP薄膜为非晶态.改变溅射功率和氩气气压,发现在较大溅射功率(200 W)和较低气压(0.3 Pa)下制备的LATP薄膜具有较高的锂离子电导率,达到... 通过射频磁控溅射制备Li_(1.3)Al_(0.3)Ti_(1.7)(PO_(4))_(3)(LATP)薄膜.X-射线衍射表征表明沉积的LATP薄膜为非晶态.改变溅射功率和氩气气压,发现在较大溅射功率(200 W)和较低气压(0.3 Pa)下制备的LATP薄膜具有较高的锂离子电导率,达到1.16×10^(-4)S/cm.将该优化条件下制备的LATP薄膜组装成Cu/LiCoO_(2)/LATP/LiCoO_(2)/Cu全固态薄膜对称电池,在7.8μA/cm^(2)电流密度下循环700 h,极化电压依然稳定.以上结果显示LATP薄膜有望在固态薄膜锂离子电池中得到广泛应用. 展开更多
关键词 磁控溅射 Li_(1.3)Al_(0.3)Ti_(1.7)(PO_(4))_(3)薄膜 离子电导率 薄膜对称电池
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