柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置的研究

ITO(氧化铟锡)导电薄膜广泛应用于手机、平板、车载导航等触摸屏,其主要采用卷对卷真空磁控溅射设备制备而成。现在对轻、薄的要求越来越高,这就增加了卷对卷生产中比较薄的PET(23?m厚度以下)平整度控制难度,故设计出一种柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制的装置,并已在产线成功使用。

超导磁通量子比特的制备及Al/AlO_x/Al隧道结特性参数

超导量子比特作为利用约瑟夫森结实现量子位的方案之一,具有易集成、易与外界耦合等优点.用双层光刻胶通过深紫外光曝光制备悬空掩膜结构,Al作为超导材料,采用电子束斜蒸发及静态氧化的方法制备了超导磁通量子比特样品.通过对Al薄膜厚度与平整度关系分析,选取60 nm作为隧道结底层Al厚度,增加蒸发源到样品衬底间的距离,提高了Al薄膜平整度,降低了隧道结漏电流.通过透射电子显微镜分析,观测到Al隧道结三层结构,并得到了势垒层厚度和氧分压的关系.