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一种新型CO气敏双层薄膜材料
被引量:
4
1
作者
刘文利
俞琳
+1 位作者
高建华
李蕾
《中国环境监测》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期46-48,共3页
介绍了一种新型结构 CO气敏的半导体薄膜材料——粉末溅射方法制备的表面层掺杂 Sn O2 /Sn O2 ∶ Pt双层膜的气敏特性。分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特性的影响 。
关键词
气
敏
双层
薄膜
材料
粉末溅射
薄膜
传感器
一氧化碳
半导体
大
气
监测
监测仪
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职称材料
α-Fe_2O_3纳米薄膜的超声喷雾热解制备及其表征
被引量:
1
2
作者
袁洪春
刘强春
+1 位作者
王巍
王声乐
《淮北煤师院学报(自然科学版)》
2002年第1期29-31,共3页
采用超声喷雾热解制备技术在Si(III)基片上制备了α-Fe2O3纳米薄膜.选用0.01mol/L的Fe(acac)3乙醇/水(1:1)混合液作为前驱液,在衬底温度380℃及载气流量6L/min条件下,制备出平均粒径为4.1nm、具有(104)择优取向的纳米薄膜,并通过XRD,AF...
采用超声喷雾热解制备技术在Si(III)基片上制备了α-Fe2O3纳米薄膜.选用0.01mol/L的Fe(acac)3乙醇/水(1:1)混合液作为前驱液,在衬底温度380℃及载气流量6L/min条件下,制备出平均粒径为4.1nm、具有(104)择优取向的纳米薄膜,并通过XRD,AFM等对其微观结构进行了表征.
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关键词
α-Fe2O3纳米
薄膜
超声喷雾热解
制备
表征
氧化铁
微观结构
前驱液
载
气
流量
薄膜气敏材料
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职称材料
题名
一种新型CO气敏双层薄膜材料
被引量:
4
1
作者
刘文利
俞琳
高建华
李蕾
机构
山东大学物理与微电子学院
出处
《中国环境监测》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期46-48,共3页
文摘
介绍了一种新型结构 CO气敏的半导体薄膜材料——粉末溅射方法制备的表面层掺杂 Sn O2 /Sn O2 ∶ Pt双层膜的气敏特性。分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特性的影响 。
关键词
气
敏
双层
薄膜
材料
粉末溅射
薄膜
传感器
一氧化碳
半导体
大
气
监测
监测仪
Keywords
powder sputtering
thin film
gas sensor
分类号
X859 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
α-Fe_2O_3纳米薄膜的超声喷雾热解制备及其表征
被引量:
1
2
作者
袁洪春
刘强春
王巍
王声乐
机构
淮北煤炭师范学院物理系
出处
《淮北煤师院学报(自然科学版)》
2002年第1期29-31,共3页
文摘
采用超声喷雾热解制备技术在Si(III)基片上制备了α-Fe2O3纳米薄膜.选用0.01mol/L的Fe(acac)3乙醇/水(1:1)混合液作为前驱液,在衬底温度380℃及载气流量6L/min条件下,制备出平均粒径为4.1nm、具有(104)择优取向的纳米薄膜,并通过XRD,AFM等对其微观结构进行了表征.
关键词
α-Fe2O3纳米
薄膜
超声喷雾热解
制备
表征
氧化铁
微观结构
前驱液
载
气
流量
薄膜气敏材料
Keywords
iron oxide
spray pyrolysis
thin film
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
一种新型CO气敏双层薄膜材料
刘文利
俞琳
高建华
李蕾
《中国环境监测》
CAS
CSCD
北大核心
2001
4
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职称材料
2
α-Fe_2O_3纳米薄膜的超声喷雾热解制备及其表征
袁洪春
刘强春
王巍
王声乐
《淮北煤师院学报(自然科学版)》
2002
1
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职称材料
已选择
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参考文献
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