MEMS微器件用CoNiMnP永磁体薄膜的工艺制备和性能研究

研究了采用多种氯化物体系电沉积制备CoNiMnP永磁体薄膜及在微继电器、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜组成、磁性能的对比研究表明：从稀氯化物体系(200mT)中获得的Co_(82．4) Ni_(11．9)Mn_(0．4)P_(5．3)永磁体薄膜具有最好的磁性能：H_c= 208790A/m,B_r=0．2T,(BH)_(max)=10．15kJ/m^3,且脆性小、内应力较低。进一步解析发现这可能是因为与易磁化轴相平行的Co(110)面上存在织构所致。在此基础上采用掩膜电沉积技术成功地制备出微继电器原位制造和电磁驱动器永磁体薄膜阵列。

基于改进粒子群算法的微直线电机动子位置辨识策略研究

本文针对一种新型平面结构的微直线电机展开研究,在分析其平面结构及其工作原理的基础上,探索新型电机内部电磁耦合对动子位置检测精确度的影响。基于新型微直线电机动子结构物理模型推导动子纵向磁场强度,并通过有限元仿真分析验证理论推导结果。利用隧道磁阻传感器监测磁场强度,本文提出一种基于纵向磁场检测的动子位置辨识策略,并采用改进粒子群算法减小动子辨识误差。最后,搭建基于隧道磁阻传感器的微直线电机测试平台进行实验研究,新型微直线电机的定位控制精确度小于30μm,实验结果验证了本文提出的动子位置辨识策略和误差校正方法的准确性和可行性。