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题名精密电容式动态在线薄膜测厚仪的研制
被引量:3
- 1
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作者
李东光
李红民
郑义忠
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机构
天津大学精密仪器及光电子工程学院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1999年第1期13-16,共4页
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文摘
介绍一种以8031单片机为核心,采用电容传感器对薄膜厚度进行动态在线测量的高精度高分辨率仪器。仪器采用反馈运算方法,使用驱动电缆技术,克服了电容传感器输出的非线性,并提高了仪器整机的抗干扰能力。测量结果在单片机系统的控制下,实时进行数显,同时将被测过程量的变化情况通过TV板变成视频信号送入视频显示器,直观反映出测量结果的变化趋势。
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关键词
电容传感器
动态测量
薄膜测厚仪
厚度测量
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Keywords
Thin Film Thickness, Capacitance Transducer, Microprocessor, Dynamic Measurement
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分类号
TH821.1
[机械工程—精密仪器及机械]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名高精度电容式动态薄膜测厚仪的研制
被引量:1
- 2
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作者
李亚标
王宝光
郑义忠
刘力双
卢慧卿
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机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
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出处
《现代仪器》
2005年第3期45-47,共3页
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文摘
本文介绍一种高精度高分辨率的仪器———电容式动态薄膜测厚仪。详述仪器的工作原理。
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关键词
薄膜测厚仪
电容式
高精度
动态
研制
数据处理方法
高分辨率
工作原理
应用软件
仪器
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Keywords
Capacitance micrometer Dynamic measurement Serial communication
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分类号
TH821.1
[机械工程—精密仪器及机械]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名紧凑型光谱薄膜测厚仪的研制
- 3
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作者
刘佳敏
陶泽
张传维
刘世元
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机构
华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期472-475,共4页
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基金
湖北省科技支撑计划资助项目(2014BEC052)
湖北省自然科学基金资助项目(2015CFB278)
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2011YQ160002)
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文摘
为了开发一种用于测量各向同性均匀薄膜介质厚度的紧凑型薄膜测厚仪,采用了共光路垂直入射设计,利用薄膜干涉原理,通过非线性优化算法对反射光谱进行了拟合,反演计算出了薄膜样品的厚度。采用该仪器测量部分Si O2/Si薄膜样件,测量结果与商业椭偏仪测量结果之间的相对偏差小于0.5%,而单次测量时间仅为70ms。结果表明,该薄膜测厚仪具有对测量距离不敏感、光路简洁、结构紧凑及重复性精度良好等优点,对实现在线实时测量功能具有积极意义。
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关键词
测量与计量
光谱薄膜测厚仪
紧凑
逆问题
干涉
不确定度
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Keywords
measurement and metrology
spectral thickness measurement instrument for thin film
compact
inverse problem
interference
uncertainty
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分类号
TN229
[电子电信—物理电子学]
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题名O-Frame扫描式在线薄膜测厚仪
- 4
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出处
《现代塑料》
2005年第6期41-41,共1页
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文摘
美国巴顿菲尔·格罗斯特工程有限公司(位于马萨诸塞洲格罗斯特市)最新研制成功了一种O-Frame在线薄膜厚度检测仪。利用这种厚度检测仪可以快速精确地检测出吹塑薄膜的厚度,并且可以直接与上一级的计算机控制系统进行数据交换。此外,该检测仪器可以不受薄膜组成成份及温度的影响而对多层共挤薄膜的厚度进行检测。
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关键词
O-Frame扫描式在线薄膜测厚仪
吹塑薄膜
计算机控制系统
数据交换
组成成份
温度
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分类号
TQ320.721
[化学工程—合成树脂塑料工业]
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题名在线薄膜测厚仪
被引量:4
- 5
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作者
姚景顺
毕文平
钟生新
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机构
海军大连舰艇学院
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出处
《电子技术(上海)》
北大核心
1995年第1期18-20,共3页
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文摘
对于厚度为10—100μm的薄膜,传统测厚方法是将薄膜从生产线上切下一条,然后送实验室用光学仪器测量。这种方法的缺点是测量时间长、速度慢。本文介绍一种以8098单片机为核心的β射线薄膜测厚仪,精度高、速度快,能满足薄膜生产线高精度在线实时测厚的要求。
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关键词
测厚仪
单片机
传感器
Β射线
薄膜测厚仪
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分类号
TH821.1
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名塑料薄膜拉伸强度不确定度简析
被引量:5
- 6
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作者
张伟
王磊
谈雄
李清
王晓玄
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机构
河北省产品质量监督检验院
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出处
《河北企业》
2015年第7期112-112,共1页
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文摘
塑料薄膜的拉伸强度是力学性能中最重要、最基本的性能之一,可以作为不同材料的质量比较和生产上品质验收依据,还可以作为使用性能指标和工程设计数据。一、实验部分1.主要仪器。电子拉力试验机:高铁检测仪器有限公司GT-TCS-2000。薄膜测厚仪:济南三泉中石实验仪器有限公司CHY-U,0-1mm。2.测试方法。试验按照GB/T 1040.3-2006《塑料拉伸性能的测定》第3部分:薄膜和薄片的试验方法,裁制5型试样,以50mm/dmin的速率拉伸至断裂。
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关键词
拉伸强度
不确定度
电子拉力试验机
薄膜测厚仪
检测仪器
测试方法
试验方法
力学性能
拉伸性能
性能指标
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分类号
F426.7
[经济管理—产业经济]
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