期刊文献+
共找到5篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
金刚石薄膜生成技术扩大了MEMS的应用范围
1
作者 DavidSuchmann 王正华 《今日电子》 2001年第2期7-7,共1页
Argonne国家实验室(位于伊利诺州的Argonne)的研究人员成功地开发了一种被命名为超纳米结晶膜的金刚石薄膜。此种薄膜技术预计将大大加速MEMS(微机电系统)技术的发展。此种薄膜将金刚石本质的优良机械性能,摩擦性能,和热性能(优异的硬度... Argonne国家实验室(位于伊利诺州的Argonne)的研究人员成功地开发了一种被命名为超纳米结晶膜的金刚石薄膜。此种薄膜技术预计将大大加速MEMS(微机电系统)技术的发展。此种薄膜将金刚石本质的优良机械性能,摩擦性能,和热性能(优异的硬度,耐磨损性,和极低的摩擦系数等)引入了迅猛发展的MEMS领域。 迄今为止,许多MEMS装置由于采用的硅材料,在耐久性和耐摩擦方面不够理想,因而不能胜任;现在由于超纳米结晶膜的出现。 展开更多
关键词 金刚石 薄膜生成技术 MEMS
下载PDF
光助MOCVD生长ZnSe单晶薄膜
2
作者 赵晓薇 范希武 +3 位作者 张吉英 杨宝均 于广友 申德振 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期186-188,共3页
光助MOCVD生长ZnSe单晶薄膜*赵晓薇范希武张吉英杨宝均于广友申德振(中国科学院长春物理研究所,长春130021)(中国科学院激发态物理开放研究实验室,长春130021)关键词光助MOCVD,ZnSe基半导体材料... 光助MOCVD生长ZnSe单晶薄膜*赵晓薇范希武张吉英杨宝均于广友申德振(中国科学院长春物理研究所,长春130021)(中国科学院激发态物理开放研究实验室,长春130021)关键词光助MOCVD,ZnSe基半导体材料,辐照光强度蓝绿光发射二极管和激光... 展开更多
关键词 光助MOCVD ZnSe基 半导体材料 薄膜生成
下载PDF
专利摘登
3
作者 倪天民 《聚酯工业》 CAS 2012年第5期60-61,共2页
抗水解PET薄膜的生产本专利提供了一种抗水解聚酯薄膜的制造方法。由于在薄膜生成时抑制了酸值的增加,所以酸值低。此法以酸值25 mol/t和特性黏度0.64~0.90 dL/g的PET或PEN为原料,用0.03~6.9 mol/t的位阻酚为稳定剂,即可制得所需的薄膜。
关键词 专利 PET薄膜 聚酯薄膜 制造方法 薄膜生成 特性黏度 抗水解 酸值
下载PDF
辉光放电等离子体辅助XeCl准分子激光溅射沉积碳氮薄膜 被引量:3
4
作者 傅广生 于威 +3 位作者 王淑芳 李晓苇 张连水 韩理 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第11期2263-2268,共6页
利用直流辉光放电等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在Si衬底上生长了碳氮薄膜 .通过扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱等多种手段 ,对薄膜的形貌、成分、晶体结构、价键状态等特性进行了分析和确定 .结果表明 ,... 利用直流辉光放电等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在Si衬底上生长了碳氮薄膜 .通过扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱等多种手段 ,对薄膜的形貌、成分、晶体结构、价键状态等特性进行了分析和确定 .结果表明 ,沉积薄膜为含有非晶SiN和晶态氮化碳颗粒结构 ,晶态成分呈多晶态 ,主要为α C3N4 相、β C3N4 相 ,晶粒大小为 4 0— 60nm .碳氮之间主要以C N非极性共价键形式相结合 . 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 直流辉光放电 碳氮薄膜 等离子体 Si 薄膜生成 XECL准分子激光
原文传递
Ultrathin ZnO membranes a few atomic layers in thickness
5
作者 YIN JianBo XIA HuaRong +1 位作者 LIANG Jia ZHANG GengMin 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2014年第2期315-321,共7页
For the first time we fabricated ZnO membranes with thicknesses of 2.4 nm by a facile one-pot synthesis in aqueous solution.The crystal analysis revealed that the hexagonal ZnO membranes were about 10 atomic layers in... For the first time we fabricated ZnO membranes with thicknesses of 2.4 nm by a facile one-pot synthesis in aqueous solution.The crystal analysis revealed that the hexagonal ZnO membranes were about 10 atomic layers in thickness.The ZnO membranes bent,scrolled,intersected with each other,and self-assembled to particles in micrometre size.The hierarchical assemblies showed sponge-like structures with room inside.In the growth process,a cationic polyelectrolyte was utilized to modulate growth behavior of the ZnO crystals.As a result,the preferred growth direction of ZnO membranes is along 0110,which was perpendicular to[0001]growth direction in a typical hydrothermal synthesis.The growth mechanism of the membranes was also discussed. 展开更多
关键词 ZNO 2D materials NANOSHEETS hierarchical structures
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部