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题名用于浮标和船只的两种薄膜电容式相对湿度传感器评价
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作者
王运
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出处
《气象水文海洋仪器》
1994年第2期61-64,共4页
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文摘
用于浮标和船只的两种薄膜电容式相对湿度传感器评价[美]詹尼朗H·克瑞森特理查德E·佩恩1.介绍“改善来自浮标和船只的气象测量(IMO)”计划引句是研究精确而可靠的方法,在世界海洋环流试验(woes)中,从浮标和船只上进行气象测量。该计划的一部分是获取...
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关键词
薄膜电容式
湿度传感器
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名电容式薄膜真空压力传感器设计
被引量:5
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作者
王凡
崔宏敏
宗义仲
王文博
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机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第3期84-86,90,共4页
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文摘
为了满足在工程型号上的使用要求,解决真空压力传感器敏感探头壳体与传感器壳体隔离绝缘问题;传感器输出信号非线性的补偿问题;传感器热零点漂移的全电路的温度补偿问题,采用电容式薄膜封装结构,壳体为电容的另一极,在0.1~100 Pa的范围内进行了校准测试,实现了传感器0.2%FS的测量精度。
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关键词
电容式薄膜真空压力传感器
零点漂移
温度补偿
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Keywords
capacitive thin film vacuum pressure sensor
zero point drift
temperature compensation
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名国内电容薄膜式压力变送器发展现状
被引量:9
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作者
丁基敏
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机构
上海振太仪表有限公司
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出处
《上海计量测试》
2002年第1期33-34,共2页
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关键词
电容薄膜式压力变送器
发展现状
电容式薄膜真空计
技术水平
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分类号
TB77
[一般工业技术—真空技术]
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题名Ta_2O5/MnO_2复合湿敏薄膜制备工艺研究
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作者
殷景华
桂太龙
李伟东
段智勇
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机构
哈尔滨理工大学应用科学学院
黑龙江省移动通讯局
上海交通大学材料科学与工程学院
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出处
《哈尔滨理工大学学报》
CAS
2002年第6期68-69,共2页
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文摘
采用钽片阳极氧化和硝酸锰热分解方法,制备Ta_2O_5/MnO_2复合薄膜,研究了电解液种 类、浓度(质量分数)、电压对Ta_2O_5/MnO_2复合薄膜绝缘性能的影响.
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关键词
湿敏薄膜
制备工艺
TA2O5
MNO2
复合薄膜
氧化钽
二氧化锰
薄膜电容式湿度传感器
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Keywords
Ta_2O_5
MnO_2
combined films
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分类号
O484.1
[理学—固体物理]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名基于CAN总线的真空智能仪表的设计
被引量:2
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作者
唐凤姣
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机构
衡阳华菱钢管集团有限公司
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出处
《仪表技术》
2013年第2期12-15,共4页
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文摘
随着现场总线技术的迅猛发展,传统的测量仪表受到严重挑战,取而代之的将是具有开放性的现场总线仪表,CAN总线以其精确、可靠性、方便性和可维护性在工业控制领域得到了广泛的应用。文章就是根据这个需求设计一种基于CAN总线的真空智能仪表,该真空仪表采用电容式薄膜规管作为测量传感器,硬件部分采用功能强大的C8051F040单片机为核心,并且具有CAN总线接口,组网方便,上位机可以实时监测各仪表的状态。
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关键词
CAN总线
真空测量
电容式薄膜规管
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Keywords
CAN bus
vacuum measurement
capacitance diaphragm gauge
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分类号
TP39
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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