铁氧体薄膜电感器研究

选取NiCuZn铁氧体为磁芯材料，采用丝网印刷方法在Al2O3；陶瓷基片上制备出尺寸为5mm×5mm的铁氧体薄膜电感器。通过实验数据对比，讨论了制备工艺和薄膜结合方式对电感器性能的影响，从实验上得到了高性能的薄膜电感器。

薄膜微型电感器等效电路分析

提出了磁性薄膜电感器的改进型等效电路模型。基于改进型等效电路,通过有限元法对薄膜电感器进行仿真研究,分析电感器的各个结构参数以及材料的特性参数对电感器整体性能的影响,并讨论了涡流效应和磁性薄膜对薄膜电感器特性的影响。结果表明选用较高电阻率的磁性薄膜和优化磁路设计,是薄膜电感器设计中必须考虑的问题。

一种薄膜电感器的设计制造

文章介绍一种薄膜电感器的设计与制造工艺，并列举了一例在高速DC／DC电源变换器中应用的结果。这种微型贴装式薄膜电感器为移动通信等等便携式小型轻量化高性能电子设备的发展进步作出了重要贡献。

基于薄膜电感器的一体化微型电源模块

文章介绍一种甚低高度的厚度仅为1．3mm的薄型DC—DC直流变换器组件。这种组件是将薄膜电感器、薄膜电容器和控制集成电路（IC）整体封装制作成极其紧凑的高密度高效率的一体化电压变换器。设计与制作的实践表明，实现这种甚低高度一体化电源模块的关键构件是薄膜磁心平面微型电感器，故文章对其进行重点阐述。

微型直流变换器中的薄膜电感器设计制造

文章介绍了一种用于超小型直流变换器的，不同于由磁芯、绕制线圈组成的立体式磁性器件的薄膜型电感器。由这种电感器和半导体器件构建的微型直流变换器被安装在同一薄膜基片上。这种部件的设计和生产工艺技术类似于半导体器件的加工生产。在此，探讨微型薄膜电感器的结构特点与设计，所需材料及其制造工艺技术，同时举例介绍它们在MHz级工作频率的驱动直流变换器中的应用情况。

以铁基超微晶材料做磁心的双螺线薄膜电感器性能分析

文章分析一种采用铁基超微晶材料做磁心的双螺线薄膜电感器的性能，并对这种电感器的性能和频率的关系进行探讨。这种电感器为双螺线（twin spiral）结构，采用干式或湿式工艺技术制造。为了改善电感器中心部位的互感，设定其每个线圈的电流方向相反。在1MHz时，模拟的电感器和实际制成的电感器的电感值分别为1170nH和800（nH）。其数值不同的原因是由于带线宽度增加和局部被去磁场引起的。

一种用于微型电源模块的薄膜电感器

文章提出了一种把电感器、电容器和控制集成电路紧密地封装在一起的、高度仅为1．3mm的高效率低高度的DC—DC电压变换器。实现这种微小型电源模块的关键是使其采用的电感器达到微小型化，本文将重点介绍采用薄膜磁心绕线型电感器的制作与性能。

薄膜磁件的研究进展与应用

介绍了薄膜变压器、薄膜电感器及集成化薄膜磁性件的结构、材料、性能及应用。

超深亚微米(VDSM)Foundry(二)——数模混合电路和射频电路

本刊特约中芯国际张汝京总裁等为本刊撰写了系列文章,介绍中芯国际目前已具备的工艺手段和所达到的技术水准。其它公司的情况,本刊将陆续发表,以飨读者。 1.数模混合电路(MS-Mixed Signal)和射频电路(RF-Radio Frequency)中的主动元件和被动元件。数模混合电路和射频电路中的 CMOS 电路必须与 logic 电路相兼容。其主动元件或称有源元件(Active Devices)