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计算机模拟薄膜生长过程研究 被引量:1
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作者 孙治国 《电脑知识与技术》 2015年第9期161-162,167,共3页
该文采用MonteCarlo算法,以面心立方结构材料为例,对薄膜生长过程中的应力进行了计算机模拟,同时也模拟了在薄膜生长的过程中表面粗糙和基底温度之间所存在的关系。通过模拟结果发现,当基底温度较低时薄膜表面相对粗糙,而随着基底... 该文采用MonteCarlo算法,以面心立方结构材料为例,对薄膜生长过程中的应力进行了计算机模拟,同时也模拟了在薄膜生长的过程中表面粗糙和基底温度之间所存在的关系。通过模拟结果发现,当基底温度较低时薄膜表面相对粗糙,而随着基底温度的身高表面粗糙程度则随之下降,而当温度到达一定程度时表面粗糙度会达到最低,之后这回随着温度的升高粗糙度又将升高。模拟结果还表明在一定原子入射率下,当薄膜沉积相同厚度下,薄膜应力随基底温度的增大而减小。 展开更多
关键词 MONTE Carlo法 薄膜生长 薄膜应力 薄膜粗糙度
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Cu薄膜应力的计算机模拟与表征
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作者 孙治国 杨莉 《甘肃科技》 2008年第1期63-66,共4页
用Monte Carlo法以Cu为例对薄膜生长过程中薄膜应力进行计算机模拟。将分子动力学法引入到连续体薄膜的生长过程中,通过面上的假想力来实现薄膜应力的计算机模拟.模拟结果表明,在一定原子入射率和基底温度下,在薄膜厚度极其薄的情况下,... 用Monte Carlo法以Cu为例对薄膜生长过程中薄膜应力进行计算机模拟。将分子动力学法引入到连续体薄膜的生长过程中,通过面上的假想力来实现薄膜应力的计算机模拟.模拟结果表明,在一定原子入射率和基底温度下,在薄膜厚度极其薄的情况下,薄膜应力随薄膜平均厚度的增加而增大,薄膜应力随薄膜表面粗糙度的增大也增大,薄膜应力—厚度随原子沉积个数趋向于线性关系,并且模拟了薄膜应力与薄膜表面粗糙度以及沉积时间的关系曲线。 展开更多
关键词 分子动力学 MONTE Carlo法 薄膜应力 薄膜厚度 薄膜表面粗糙度
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利用原子力显微镜观测气敏薄膜的平整度 被引量:1
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作者 孙冰 田丰 +2 位作者 齐景爱 高金雍 阎国英 《传感器世界》 2014年第6期19-22,4,共5页
介绍原子力显微镜功能、原理和结构,用于检测原子之间的接触来呈现样品的表面形貌特性,如粗糙度、起伏不平整度等,提供三维表面图像。常用的是激光反射检测系统,由探针、激光发生器和光检测器组成。探针是由悬臂和悬臂末端的针尖组成,... 介绍原子力显微镜功能、原理和结构,用于检测原子之间的接触来呈现样品的表面形貌特性,如粗糙度、起伏不平整度等,提供三维表面图像。常用的是激光反射检测系统,由探针、激光发生器和光检测器组成。探针是由悬臂和悬臂末端的针尖组成,悬臂是由Si或Si3N4经光刻技术用MEMS技术加工而成。当在样品表面扫描的探针引起悬臂梁弯曲时,产生应力。再由压电陶瓷能将十几分之一纳米到几微米的位移而导致的应力信号转换成1mV^1000V的电信号,以代表样品表面的不平整度。同时简单介绍了利用原子力显微镜观察不同退火温度对制备的气敏传感器薄膜表面晶粒度的影响,以及不同腐蚀液抛光硅片的效果。 展开更多
关键词 原子力显微镜 功能 原理和结构 薄膜表面粗糙度 不平整度
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金刚石膜同步辐射X-射线掩模的研究进展
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作者 万静 立 冉均国 《四川师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2001年第6期618-621,共4页
超大规模集成电路 (VLSI)线宽不断缩小促进了光刻技术的发展和分辩率的提高 ,缩短光波长和改进掩模是提高分辨率的重要途径 .探索采用X 射线光刻技术时 ,用金刚石薄膜作为掩模基膜的研究现状与发展方向 .金刚石薄膜因其具有优异的机械... 超大规模集成电路 (VLSI)线宽不断缩小促进了光刻技术的发展和分辩率的提高 ,缩短光波长和改进掩模是提高分辨率的重要途径 .探索采用X 射线光刻技术时 ,用金刚石薄膜作为掩模基膜的研究现状与发展方向 .金刚石薄膜因其具有优异的机械、光学和热学性能 ,已成为新一代掩模基膜材料的理想候选材料 .介绍了金刚石薄膜用作掩模基膜材料上取得的实验成果 。 展开更多
关键词 金刚石薄膜 X-射线光刻掩模 CVD沉积工艺 薄膜应力 薄膜粗糙度
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Effects of electrolytic concentration on properties of micro-arc film on Ti6Al4V alloy 被引量:9
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作者 SHI Xing-ling WANG Qing-liang WANG Fu-shun GE Shi-rong 《Mining Science and Technology》 EI CAS 2009年第2期220-224,共5页
To study the effect of electrolytic concentration,bioactive ceramic films containing Ca and P on the surface of the Ti6Al4V alloy were prepared by micro-arc oxidation(MAO) in aqueous solutions of different concentrati... To study the effect of electrolytic concentration,bioactive ceramic films containing Ca and P on the surface of the Ti6Al4V alloy were prepared by micro-arc oxidation(MAO) in aqueous solutions of different concentrations.Composition,micro-morphology,wettability of the films and their corrosion behavior in a Hank's SBF were studied.Our experimental results show that the film is mainly composed of anatase,rutile and amorphous phases.With an increase in electrolytic concentration,the ratio of rutile in films enlarge and small amounts of calcium phosphate(Ca3(PO4)2) and hydroxyapatite(HA) appear.The number of micropores in films increases but their dimensions decrease and their porosities increase slightly.As the surface roughness of MAO film increases with concentration,the wettablility of the oxide film improves continually,while micro-hardness increases at first and then decreases.MAO treatment clearly improves the corrosion resistance of substrates in a Hank's SBF. 展开更多
关键词 titanium alloy micro-arc oxidation ROUGHNESS contact angle micro-hardness anodic polarization
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