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铝薄膜结构第一镜氢离子溅射特性研究
1
作者
公发全
李刚
+5 位作者
谭艳楠
张敏
周徐阳
牟宗信
刘万发
董闯
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期984-988,共5页
采用电子束蒸发镀膜工艺,在不同的基底材料上镀制了Al和Al2O3/Al薄膜,研制了国际热核聚变实验堆光学诊断中用具有较高反射率薄膜第一镜。通过中频脉冲偏压方法产生氢等离子体,对薄膜第一镜在氢等离子溅射下性能及特性进行比较分析。研...
采用电子束蒸发镀膜工艺,在不同的基底材料上镀制了Al和Al2O3/Al薄膜,研制了国际热核聚变实验堆光学诊断中用具有较高反射率薄膜第一镜。通过中频脉冲偏压方法产生氢等离子体,对薄膜第一镜在氢等离子溅射下性能及特性进行比较分析。研究结果表明:在本实验氢离子溅射条件下,第一镜样品表面污染物的沉积速度大于溅射速度,样品表面沉积了少量的真空室内物质,通过X射线光电子能谱分析证实金属污染物均为氧化物,对光谱反射率影响较小。而由于基底和膜层结构的不同,薄膜第一镜自身结构的稳定性差异较大,其中Al/SS304和Al2O3/Al/Si O2样件表现出很好的耐等离子溅射稳定性,可以成为第一镜的备选方案。
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关键词
薄膜结构第一镜
H等离子体
偏压溅射
反射率
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职称材料
题名
铝薄膜结构第一镜氢离子溅射特性研究
1
作者
公发全
李刚
谭艳楠
张敏
周徐阳
牟宗信
刘万发
董闯
机构
辛国科学院化学激光重点实验室中国科学院大连化学物理研究所
大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室
辽宁师范大学物理与电子技术学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期984-988,共5页
基金
国家自然科学基金项目(51131002)
国家自然科学基金青年基金项目(51101080)
教育部留学归国人员科研启动基金项目(2012940)
文摘
采用电子束蒸发镀膜工艺,在不同的基底材料上镀制了Al和Al2O3/Al薄膜,研制了国际热核聚变实验堆光学诊断中用具有较高反射率薄膜第一镜。通过中频脉冲偏压方法产生氢等离子体,对薄膜第一镜在氢等离子溅射下性能及特性进行比较分析。研究结果表明:在本实验氢离子溅射条件下,第一镜样品表面污染物的沉积速度大于溅射速度,样品表面沉积了少量的真空室内物质,通过X射线光电子能谱分析证实金属污染物均为氧化物,对光谱反射率影响较小。而由于基底和膜层结构的不同,薄膜第一镜自身结构的稳定性差异较大,其中Al/SS304和Al2O3/Al/Si O2样件表现出很好的耐等离子溅射稳定性,可以成为第一镜的备选方案。
关键词
薄膜结构第一镜
H等离子体
偏压溅射
反射率
Keywords
The 1st mirror
Hydrogen plasma
Plasma etching reflectivity
分类号
O756 [理学—晶体学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
铝薄膜结构第一镜氢离子溅射特性研究
公发全
李刚
谭艳楠
张敏
周徐阳
牟宗信
刘万发
董闯
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
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职称材料
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