AlN薄膜腔声谐振器的制备及性能研究

采用体硅微细加工工艺制备了基于AlN压电材料的薄膜腔声谐振器，研究了器件结构中谐振区形状和面积对谐振器性能的影响。以X射线衍射仪、扫描电镜表征了AlN压电薄膜的结构及形貌，高频网络分析仪表征谐振器频率特性。测试结果表明，谐振器所用AlN压电薄膜具有C轴择优取向及良好的柱状晶结构；器件频率特性良好，谐振频率达1．759GHz，机电耦合系数3．75％，品质因数79．5。通过研究不同谐振区形状、面积谐振器的性能，明确了结构因素对器件频率特性的影响，分析了其中的机制。

基于薄膜腔声谐振器(FBAR)技术的带通滤波器

ACPF-7024和ACPF-7025是一组高选择性的带通滤波器，为下一代4GwiMAX／LTE语音通信以及无线频带／蓝牙数据网络提供优异的语音或数据传输质量，可同时实现移动手机的双向语音或数据传输。ACPF-7024是一款适于2400～2482MHz的无线频带／蓝牙带通滤波器，应用于2．4MHz的ISM1频带，并对超过40dB的干扰信号呈衰减特性。

一种新的CDMA手机射频解决方案

介绍了一种新的ＣＤＭＡ手机射频解决方案。首先对射频元器件的发展趋势及ＣＤＭＡ手机的总体结构进行了介绍，然后详细介绍了一系列的手机射频芯片。一种全新技术的双工器技术─爆膜腔声谐振器（ＦＢＡＲ）双工器在本文的最后一部分进行了描述。

安捷伦FBAR产品广泛用于手机

安捷伦科技公司日前宣布，采用其微型FBAR(薄膜腔声谐振器)双工器和全频发射滤波器的手机设计方案已经突破100款。

惠普新闻

安捷伦科技公司近日宣布，采用其微型薄膜腔声谐振器双工器和全频发射滤波器的手机设计方案已经突破100款。在当前的前十大CDMA手机制造商中，已有九家在为美国PCS市场设计的手机中采用了这一技术。

ACMD-6007 4G／LTE Band 7双工器

Avago Technologies（安华高科技）公司日前推出第一代4G／LTE Band 7双工器，其2×2．5毫米薄膜腔声谐振器（FBAR）为手机和数据终端提供了高度双向隔离的优势。该FBAR双工器有助于制造商生产新兴的4G／LTE标准手机，优化语音服务质量并延长电池寿命。

AFEM-S102高集成化前端模块

Avago Technologies近日推出一款前端模块，可为手机和平板电脑以及其它便携式个人电脑设备的移动路由器提供强大的802．11b／g／n Wi-Fi和蓝牙电波过滤功能。这款最新的AFEM-S102模块将一个薄膜腔声谐振器（FBAR）共存滤波器、SP3T天线开关和TX通道耦合器结合在一个小型的2．2×2．2×0．55毫米封装中，非常适合对空间有限制要求的应用用途。

CDMA Cell-Band和PCS前端模块产品

Avago Technologies（安华高科技）近日推出两款集成功率放大器（PA，Power Amplifier）、双工器、带通滤波器和耦合器，可以有效改善效率并延长通话时间的前端模块（FEM，Front End Module）产品。Avago的AFEM-775x系列采用Avago的CoolPAM和薄膜腔声谐振器（FBAR，Film Bulk Acoustic Resonator）技术来改善CDMA cell频带和双频带手机、