监控光带宽对真空蒸镀窄带滤光片的影响

分析了监控光带宽对薄膜淀积时膜厚极值点的影响 ,建立了模拟薄膜实际淀积过程的计算机模拟程序 ,通过对几种窄带滤光片膜系结构的模拟分析 。