微型磁通门纳米孔薄膜铁芯微观结构改进方案

针对薄膜铁芯传统制作方法所得纳米孔洞结构的分布与尺度完全随机不可控的问题,提出了微型磁通门纳米孔薄膜铁芯微观结构改进方案。该方案采用二步阳极化法进行多孔氧化铝模板生长,并在模板基础上完成可控的纳米多孔软磁薄膜的制备。实验验证结果表明,薄膜铁芯中的纳米多孔微结构,能够降低铁芯的磁畴体积和磁畴间的相互作用数量,从而有效改善薄膜铁芯的磁性能,降低器件噪声。

微型磁器件纳米孔薄膜铁芯的制备与分析

对薄膜铁芯微观结构的研究与改进有利于提高微型磁器件的综合性能,文中使用标准MEMS工艺制备了具有纳米孔结构的薄膜铁芯,对不同孔径的纳米孔薄膜铁芯进行了相关的表征与测试,分析了孔径大小对薄膜软磁性能的影响。实验分析的结论为确定制备方案和提高性能指标提供了支持。

硅基微磁通门非晶Fe_(96)Nb_4铁芯薄膜的研究

采用磁控溅射法制备一种适合用于硅基微磁通门的新型非晶Fe96Nb4软磁铁芯薄膜,并利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、振动样品磁强计测试薄膜的相组成、表面形貌、和磁滞回线,用双铁芯磁通门探头线圈对制作的铁芯薄膜进行试验。结果表明:随制备温度的升高,薄膜的缺陷明显减小,软磁性能显著改善。基片温度为630K时制作的硅基Fe96Nb4铁芯薄膜的性能适合用于微磁通门铁芯材料。