自动动态补偿功能改善酸蚀蚀刻不均匀性问题

在酸蚀制程中,由于其蚀铜量较大,蚀刻线生产时蚀刻速度较慢,导致蚀刻不均匀性对线路制作存在很大影响,为改善蚀刻不均匀性的问题,采用奥宝公司专门开发的可制造性设计功能----自动动态补偿(Dynamic Etch Compensation),根据不同的间距设置不同的线宽补偿量,来确保蚀刻后线宽的一致性。

椭圆模型在密集线路制作中的应用

文章介绍了椭圆模型在密集线制作中的应用,包括线路补偿、铜层厚度、线宽控制。依据椭圆模型,我们如何进行密集线生产操作和控制,使其达到理想的效果。