谈蚀刻设备与真空蚀刻机

本文叙述了蚀刻机的发展，及其传送、摆动、喷嘴等主要结构的变化与对蚀刻效率的影响。同时介绍真空蚀刻机结构与功效。

碱性氯化铜蚀刻机同类产品技术参数分析

前言 随着印制电路板(简称 PCB)技术的不断发展,与 之相应的各种生产设备、测 试仪器也有了不同程度地更 新。通过引进、消化、吸收、创新,我国印制板专用设备国产化取得了很大进展。如蚀刻工艺所用的关键设备——腐蚀机,无论从产品外观、主要性能、自动化程度、材料耐蚀性,都比十几年前更为成熟。特别是碱性氯化铜蚀刻机,出现不少值得称道的产品。本文就国内外同类产品的技术参数,进行分析考察。

我国印制电路蚀刻机发展的三个阶段

本文首次提出我国印制电路蚀刻机发展的三个阶段,即以三氯化铁蚀刻机为主的初级阶段;以各种类型蚀刻机相继出现为特点的上升阶段;以制造出口蚀刻机为龙头的成熟阶段。并简述各个阶段的发展简史以及具有代表意义的典型蚀刻机。本文还就我国印制板蚀刻机的发展趋势进行了有益的探索。

一种制造半导体瀑布式蚀刻机设计及其应用研究

该文首先提出了常见的玻璃表面蚀刻装置在蚀刻处理玻璃表面过程中的问题及事后蚀刻装置对玻璃不易清洗的问题,通过对蚀刻机重新设计,提出了制造半导体瀑布式蚀刻机的设计方案和运行过程,经验证明其满足玻璃蚀刻装置的要求,叙述了新型玻璃蚀刻装置结构设计所带来的有益效果,然后阐述了玻璃蚀刻机在工业方面和工艺方面的应用,最后提出了蚀刻机未来发展在蚀刻准确度、安全与环保方面仍然需要注意的问题。

STS新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机赢得Bosch订单

使用电浆制程技术之MEMS（微机电系统）与相关市场之成长蒸蒸日上。电浆制程技术巨擘Surface Technology Systems plc（STS）宣布，该公刊新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化MEMS设备制造大厂博世（Robert Bosch GmbH）之订单。

应材新蚀刻机投产速度破纪录

半导体设备大应用材料宣布推出新一代蚀刻机Appli＇edCentrisSym3，采用创新蚀刻反应室架构，能促使材料移除制程精密度达到原子等级，已有包括台积电在内的多家客户安装这套新系统并做为生产首选机台，创下应用材料蚀刻机台史上最快的客户采用速度。应用材料推出新一代蚀刻机台CentrisSym3蚀刻系统，配备全新的蚀刻反应室，可进行原子等级的精密制造。为克服在芯片内部特征之间的差异，CenttisSym3统大幅改良了现有机台，让芯片制造商能够拥有制作图案所需的控制与精密度，在先进的内存和逻辑芯片中，打造密集组装的3D结构。

STS新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机赢得Bosch订单

电浆制程技术巨擘Surface Technology Systemsplc（STS）日前宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化MEMS设备制造大厂博世（Robert Bosch GmbH）的订单。这也是Pegasus自从2005年6月28日公开问世以来，所接获的第五张重要订单。

Surface Technology Systems（STS）——新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机赢得Bosch订单

等离子工艺技术巨擘Surface Technology Systems plc（STS）（LSE：SRTS）宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化MEMS设备制造大厂博世（Robert Bosch GmbH）之订单。这张来自Bosch的订单．更加强了双方长久以来的合作关系，也是Pegasus自从2005年6月28日公开问世以来，所接获的第5张重要订单。

STS的MEMS晶圆深层蚀刻机赢得Bosch订单

电浆制程技术厂商STS（Surface Technology Systemsplc）最近宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化微机电系统（MEMS）设备制造大厂博世（Robert Gosch GmbH）的订单。

蚀刻机的维护与保养

本文是实践经验小结,详述了双面多层印制板制造中碱性蚀刻工艺设备每日、每周、每月维护保养的方方面面。正确维护保养蚀刻机,不仅可延续设备的使用寿命,更重要的是可保障产品稳定一致的质量。

电路板酸性蚀刻废液电解回收100%的循环再生机

1常见酸性蚀刻废液电解处理的困扰酸性氯化铜蚀刻工艺为现时电路板行业中常用的蚀刻工艺,其蚀刻废液的主要成分为氯化铜、氯化亚铜、盐酸及其他氯化盐等,铜离子浓度通常为120 g/L左右。目前业界对此蚀刻废液的处理方法为收集后统一交给危险化学废物回收公司进行处理,也有部分电路板生产厂家使用电解法自行处理。

无故障蚀刻

电路板的蚀刻系统是由化学药品与机器设备组成的。如果蚀刻剂适用于产品而且又能保持一定的浓度,那么这种化学药品就能持续产出线路边缘整齐的电路板。如果蚀刻机械也处于良好状态时,则电路板生产就能很平稳地转送到下道工序。 选择蚀刻剂和浓度应是工艺工程师和化学工程师的责任,尽管机器是由操作工日常操作的,但工艺工程师也应负责选择蚀刻机。

四轴坐标记录仪的设计

为了节省视觉标定的时间,设计了一种用于激光银浆蚀刻机快速获取标定数据的四轴坐标记录仪.采用低功耗的单片机作为主控芯片,通过两个正交解码接口芯片对磁栅读头传来的四组正交信号进行采集、更新、保存来记录标定前后的坐标值;通过液晶显示和按键模块,来输入磁栅脉冲的距离值以及相关参数;并通过铁电存储器保存掉电关机时需要保存的各种坐标值;最后通过低功耗收发器实现与主机通讯来传输记录数据.该四轴坐标记录仪通过配合上位机软件,根据计算结果移动电荷耦合器件对蚀刻图形进行位置和姿态调整来获取新坐标,使繁琐的双目视觉标定时间由原来的近30分钟减少为3分钟,从而实现高效率、高精度的银浆蚀刻.

电子设计自动化课程的教学实践

设计一套可供校园实验室使用的印刷电路板制作工艺流程,并制作完成蚀刻机。使用STC89C51单片机为核心,由DS18B20温度传感器、加热装置、水泵循环装置、显示模块、稳压模块和继电器电路构成一个完整的蚀刻机控制系统。

文献与摘要(69)

2007年是HDI年？；减少高速数字信号失真的制造技术；有机电子产品和印刷申子产品是今后的大事？；射频多层混压板制造技术；谈蚀刻设备与真空蚀刻机。

印艺谈

蚀刻方法是标牌制作中一种常用技术,其工艺可分为手工蚀刻、泼溅式蚀刻机蚀刻、搅拌式蚀刻机蚀刻、喷淋式蚀刻机蚀刻及电解蚀刻机蚀刻。本文将介绍标牌蚀刻加工中的工艺要点和注意事项。几种常用蚀刻方法手工蚀刻包括制蚀、泼洒、摇床等方法。制蚀是用排笔将溶液在金属板上来回刷蚀。泼洒是用水勺子将溶液不断地泼向金属板表面进行蚀刻。摇床是用一个塑料盆,用手工摇动金属板,使金属板上的蚀刻液来回流动。泼溅式蚀刻机蚀刻方法采用小车式的叶轮将蚀刻液不断泼向金属板进行蚀刻。

中微在专利侵权案中胜诉

中国中微半导体设备公司曰前宣布，对于美国泛林科技针对其台湾分公司及其关系企业的专利侵权诉讼，中微已经获得胜诉。在日前的判决中，台湾智能财产法院驳回了泛林的诉讼，并认定泛林声称遭到侵害的专利无效。2009年1月，泛林表示，中微型号为Primo D-RIE的电浆蚀刻机，侵害了其电浆反应器中的多孔电浆密封环，