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多种矿物裂变径迹蚀刻条件研究
1
作者
杨麒可
《广东化工》
CAS
2024年第7期43-45,共3页
用于地质应用的裂变径迹分析涉及一系列实际考虑因素。其中包括现场采样,常用矿物的分离,这些矿物的制备以供分析以及所需基本参数的测量。本次文章主要从多种矿物的蚀刻条件来进行综述。自发裂变径迹是通过化学蚀刻在矿物颗粒中揭示出...
用于地质应用的裂变径迹分析涉及一系列实际考虑因素。其中包括现场采样,常用矿物的分离,这些矿物的制备以供分析以及所需基本参数的测量。本次文章主要从多种矿物的蚀刻条件来进行综述。自发裂变径迹是通过化学蚀刻在矿物颗粒中揭示出来的,因为蚀刻剂优先蚀刻径迹核心中高度无序的部分。矿物中的整体蚀刻速率并不均匀,并且在不同的晶体学方向上会有所不同,因此,径迹的形状和大小会有所不同,为了更加有效的观察和统计径迹,选择合适的蚀刻条件是非常重要的。
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关键词
裂变径迹
蚀刻条件
石英
电气石
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职称材料
石英裂变径迹蚀刻条件的对比实验研究
被引量:
5
2
作者
刘春茹
刘秀明
+1 位作者
王世杰
张峰
《地球化学》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期323-327,共5页
通过40%的HF溶液、KOH饱和溶液和19mol/L的NaOH溶液这三种常用方法对大、小颗粒石英进行裂变径迹蚀刻实验的对比发现,用环氧树脂固定的小颗粒石英样品,不宜用KOH饱和溶液(150℃)和19mol/L的NaOH溶液(沸点,约120℃)作为裂变径迹的蚀刻剂...
通过40%的HF溶液、KOH饱和溶液和19mol/L的NaOH溶液这三种常用方法对大、小颗粒石英进行裂变径迹蚀刻实验的对比发现,用环氧树脂固定的小颗粒石英样品,不宜用KOH饱和溶液(150℃)和19mol/L的NaOH溶液(沸点,约120℃)作为裂变径迹的蚀刻剂,宜用40%的HF溶液;三种方法均适宜于大颗粒石英,但不同的蚀刻方法蚀刻效率不同,40%的HF溶液(29℃)的蚀刻效率最高,且操作简单、安全性高。40%的HF溶液最佳蚀刻时间为:温度在4℃左右(冬季)时为40min,温度在29℃左右(夏季)时为30min,可在全年室内常温条件下操作。
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关键词
石英
裂变径迹
蚀刻条件
对比实验
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职称材料
电气石裂变径迹蚀刻条件研究
被引量:
1
3
作者
高绍凯
袁万明
+1 位作者
董金泉
王世成
《核技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第9期681-683,共3页
通过对3个不同样品中的电气石颗粒进行蚀刻,详细探讨了电气石裂变径迹的最佳蚀刻条件。实验结果表明,当用40%的HF在35℃下蚀刻30min或用KOH在40℃蚀刻20min时,在显微镜下都可在平行于矿物c轴的晶面方向上观察到裂变径迹。
关键词
电气石
裂变径迹
蚀刻条件
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职称材料
蚀刻腔条件对刻蚀工艺的影响研究
被引量:
4
4
作者
陈乐乐
朱亮
+3 位作者
包大勇
季高明
蔡辉
李东霞
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期1088-1090,1094,共4页
在ULSI制造中蚀刻腔条件的变化是导致刻蚀工艺重复性差的一个重要原因。在刻蚀过程中,一层聚合物会淀积在蚀刻腔壁上。通过XPS分析得知,聚合物的主要成分为(CF2)n。实验过程发现不同的聚合物量会影响等离子体中CF2基团的浓度。聚合物越...
在ULSI制造中蚀刻腔条件的变化是导致刻蚀工艺重复性差的一个重要原因。在刻蚀过程中,一层聚合物会淀积在蚀刻腔壁上。通过XPS分析得知,聚合物的主要成分为(CF2)n。实验过程发现不同的聚合物量会影响等离子体中CF2基团的浓度。聚合物越多,CF2浓度越高;反之,聚合物越少,CF2浓度就越低。在这种情况下,蚀刻腔上的聚合物被认为是等离子中CF2基团的一个源。CF2浓度的变化又导致最终刻蚀特性(CD,蚀刻率)的变化和工艺漂移。
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关键词
蚀刻
腔
条件
SiO2刻蚀
关键尺寸
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职称材料
汽轮机转子钢在硝酸酒精溶液中的蚀刻行为研究
5
作者
张胜寒
黄现龙
陈超
《汽轮机技术》
北大核心
2007年第5期394-397,共4页
通过对实验室冶炼的30Cr2MoV转子钢材料在硝酸酒精溶液中的蚀刻行为研究,得到了最佳蚀刻条件,并进一步得到了晶界宽度与FATT50的关系。
关键词
汽轮机转子钢
蚀刻条件
行为研究
酒精溶液
硝酸
30CR2MOV
钢材料
实验室
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职称材料
基于CR-39固体探测器的粒子识别
被引量:
1
6
作者
徐秀清
夏晓彬
+5 位作者
李洋
蔡军
陈畅其
黄文博
谢桂英
高崚威
《辐射研究与辐射工艺学报》
CAS
CSCD
2018年第4期36-45,共10页
为了掌握利用CR-39固体核径迹探测器识别α粒子和质子的方法,应用粒子与物质相互作用理论和径迹蚀刻动力学经验模型,模拟了α粒子和质子在CR-39固体核径迹探测器上的径迹形貌,计算出了3~8 MeV的α粒子和1~9 MeV的质子最佳蚀刻条件。根...
为了掌握利用CR-39固体核径迹探测器识别α粒子和质子的方法,应用粒子与物质相互作用理论和径迹蚀刻动力学经验模型,模拟了α粒子和质子在CR-39固体核径迹探测器上的径迹形貌,计算出了3~8 MeV的α粒子和1~9 MeV的质子最佳蚀刻条件。根据对应的最佳蚀刻条件,计算获得的α粒子和质子的径迹直径、灰度值、径迹深度,并据此对相同能量的α粒子和质子、不同能量的α粒子、不同能量的质子进行识别。同时,采用CR-39固体探测器对α粒子(5.48 MeV)和质子(3 MeV)进行了实验测量,在模拟计算所获得的最佳蚀刻条件下,实验测读了α粒子径迹。实验测量得到的α粒子径迹直径与模拟值相差0.36%~9.70%。实验测量的最佳蚀刻时间和模拟的最佳蚀刻时间相差5.60%,这些结果验证了模拟方法的可行性。
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关键词
CR-39
固体核径迹探测器
蚀刻条件
Α粒子
质子
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职称材料
塑料表面敷镀金属的方法
7
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2008年第4期3-3,共1页
一种塑料表面敷镀金属的方法,由此依次实施以下加工处理步骤:塑料表面在温和蚀刻条件下蚀刻处理。随后,塑料表面用包含至少一种来自下面“钴盐、银盐、锡盐、铅盐”的盐的金属盐溶液处理。塑料表面用硫化物溶液处理。最后,塑料表面...
一种塑料表面敷镀金属的方法,由此依次实施以下加工处理步骤:塑料表面在温和蚀刻条件下蚀刻处理。随后,塑料表面用包含至少一种来自下面“钴盐、银盐、锡盐、铅盐”的盐的金属盐溶液处理。塑料表面用硫化物溶液处理。最后,塑料表面在金属槽中敷镀金属。
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关键词
塑料表面
镀金属
蚀刻条件
溶液处理
加工处理
金属盐
硫化物
金属槽
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职称材料
纳米孔径核孔模的制备研究
被引量:
17
8
作者
彭良强 P.Yu.Apel
《高能物理与核物理》
EI
CSCD
北大核心
2001年第4期359-364,共6页
高能硫、氪、氙离子轰击聚酯(PET)和聚碳酸酯(PC)膜后,对样品进行陈化和紫外线照射敏化。用电导法着重研究蚀刻条件对样品的归一化径迹蚀刻速率(灵敏度)的影响,结果表明优化条件下灵敏度较通用条件下提高约2倍,PET的灵敏度可达...
高能硫、氪、氙离子轰击聚酯(PET)和聚碳酸酯(PC)膜后,对样品进行陈化和紫外线照射敏化。用电导法着重研究蚀刻条件对样品的归一化径迹蚀刻速率(灵敏度)的影响,结果表明优化条件下灵敏度较通用条件下提高约2倍,PET的灵敏度可达1000,PC的灵敏度可达2000,可以用于制备纳米孔径核孔膜。核孔膜中填充的铜纳米线的电镜照片显示出纳米线最小直径为20nm。用电导法计算纳米孔的孔径,该值与纳米线直径的电镜测量值在孔径大于30nm时符合良好。
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关键词
核孔模
纳米技术
电导法
纳米孔径
蚀刻条件
高能重离子
纳米线
原文传递
题名
多种矿物裂变径迹蚀刻条件研究
1
作者
杨麒可
机构
长安大学
出处
《广东化工》
CAS
2024年第7期43-45,共3页
文摘
用于地质应用的裂变径迹分析涉及一系列实际考虑因素。其中包括现场采样,常用矿物的分离,这些矿物的制备以供分析以及所需基本参数的测量。本次文章主要从多种矿物的蚀刻条件来进行综述。自发裂变径迹是通过化学蚀刻在矿物颗粒中揭示出来的,因为蚀刻剂优先蚀刻径迹核心中高度无序的部分。矿物中的整体蚀刻速率并不均匀,并且在不同的晶体学方向上会有所不同,因此,径迹的形状和大小会有所不同,为了更加有效的观察和统计径迹,选择合适的蚀刻条件是非常重要的。
关键词
裂变径迹
蚀刻条件
石英
电气石
Keywords
fission track
etching conditions
quartz
tourmaline
分类号
P579 [天文地球—矿物学]
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职称材料
题名
石英裂变径迹蚀刻条件的对比实验研究
被引量:
5
2
作者
刘春茹
刘秀明
王世杰
张峰
机构
中国科学院地球化学研究所环境地球化学国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《地球化学》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期323-327,共5页
基金
国家重点基础研究发展计划项目(2006CB403200)
国家自然科学基金(40371012)
文摘
通过40%的HF溶液、KOH饱和溶液和19mol/L的NaOH溶液这三种常用方法对大、小颗粒石英进行裂变径迹蚀刻实验的对比发现,用环氧树脂固定的小颗粒石英样品,不宜用KOH饱和溶液(150℃)和19mol/L的NaOH溶液(沸点,约120℃)作为裂变径迹的蚀刻剂,宜用40%的HF溶液;三种方法均适宜于大颗粒石英,但不同的蚀刻方法蚀刻效率不同,40%的HF溶液(29℃)的蚀刻效率最高,且操作简单、安全性高。40%的HF溶液最佳蚀刻时间为:温度在4℃左右(冬季)时为40min,温度在29℃左右(夏季)时为30min,可在全年室内常温条件下操作。
关键词
石英
裂变径迹
蚀刻条件
对比实验
Keywords
quartz
fission track
etching condition
contrast experiment
分类号
P599 [天文地球—地球化学]
下载PDF
职称材料
题名
电气石裂变径迹蚀刻条件研究
被引量:
1
3
作者
高绍凯
袁万明
董金泉
王世成
机构
中国科学院高能物理研究所
出处
《核技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第9期681-683,共3页
文摘
通过对3个不同样品中的电气石颗粒进行蚀刻,详细探讨了电气石裂变径迹的最佳蚀刻条件。实验结果表明,当用40%的HF在35℃下蚀刻30min或用KOH在40℃蚀刻20min时,在显微镜下都可在平行于矿物c轴的晶面方向上观察到裂变径迹。
关键词
电气石
裂变径迹
蚀刻条件
Keywords
Tourmaline, Fission track, Etching condition
分类号
P597 [天文地球—地球化学]
TL99 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
蚀刻腔条件对刻蚀工艺的影响研究
被引量:
4
4
作者
陈乐乐
朱亮
包大勇
季高明
蔡辉
李东霞
机构
上海微系统与信息技术研究所
上海宏力半导体有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期1088-1090,1094,共4页
文摘
在ULSI制造中蚀刻腔条件的变化是导致刻蚀工艺重复性差的一个重要原因。在刻蚀过程中,一层聚合物会淀积在蚀刻腔壁上。通过XPS分析得知,聚合物的主要成分为(CF2)n。实验过程发现不同的聚合物量会影响等离子体中CF2基团的浓度。聚合物越多,CF2浓度越高;反之,聚合物越少,CF2浓度就越低。在这种情况下,蚀刻腔上的聚合物被认为是等离子中CF2基团的一个源。CF2浓度的变化又导致最终刻蚀特性(CD,蚀刻率)的变化和工艺漂移。
关键词
蚀刻
腔
条件
SiO2刻蚀
关键尺寸
Keywords
chamber wall condition
SiO2 etching
critical dimension
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
汽轮机转子钢在硝酸酒精溶液中的蚀刻行为研究
5
作者
张胜寒
黄现龙
陈超
机构
华北电力大学
出处
《汽轮机技术》
北大核心
2007年第5期394-397,共4页
文摘
通过对实验室冶炼的30Cr2MoV转子钢材料在硝酸酒精溶液中的蚀刻行为研究,得到了最佳蚀刻条件,并进一步得到了晶界宽度与FATT50的关系。
关键词
汽轮机转子钢
蚀刻条件
行为研究
酒精溶液
硝酸
30CR2MOV
钢材料
实验室
Keywords
steam turbine rotor
the breadth of crystal particle
30Cr2MoV
分类号
TK236.61 [动力工程及工程热物理—动力机械及工程]
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职称材料
题名
基于CR-39固体探测器的粒子识别
被引量:
1
6
作者
徐秀清
夏晓彬
李洋
蔡军
陈畅其
黄文博
谢桂英
高崚威
机构
中国科学院上海应用物理研究所
中国科学院大学
华中科技大学同济医学院附属同济医院
出处
《辐射研究与辐射工艺学报》
CAS
CSCD
2018年第4期36-45,共10页
基金
中国科学院战略性先导科技专项(XDA02050100)资助~~
文摘
为了掌握利用CR-39固体核径迹探测器识别α粒子和质子的方法,应用粒子与物质相互作用理论和径迹蚀刻动力学经验模型,模拟了α粒子和质子在CR-39固体核径迹探测器上的径迹形貌,计算出了3~8 MeV的α粒子和1~9 MeV的质子最佳蚀刻条件。根据对应的最佳蚀刻条件,计算获得的α粒子和质子的径迹直径、灰度值、径迹深度,并据此对相同能量的α粒子和质子、不同能量的α粒子、不同能量的质子进行识别。同时,采用CR-39固体探测器对α粒子(5.48 MeV)和质子(3 MeV)进行了实验测量,在模拟计算所获得的最佳蚀刻条件下,实验测读了α粒子径迹。实验测量得到的α粒子径迹直径与模拟值相差0.36%~9.70%。实验测量的最佳蚀刻时间和模拟的最佳蚀刻时间相差5.60%,这些结果验证了模拟方法的可行性。
关键词
CR-39
固体核径迹探测器
蚀刻条件
Α粒子
质子
Keywords
CR-39
Solid state nuclear track detector
Etching conditions
α-particle
Proton
分类号
TL815.7 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
塑料表面敷镀金属的方法
7
机构
恩索恩-MOI公司
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2008年第4期3-3,共1页
文摘
一种塑料表面敷镀金属的方法,由此依次实施以下加工处理步骤:塑料表面在温和蚀刻条件下蚀刻处理。随后,塑料表面用包含至少一种来自下面“钴盐、银盐、锡盐、铅盐”的盐的金属盐溶液处理。塑料表面用硫化物溶液处理。最后,塑料表面在金属槽中敷镀金属。
关键词
塑料表面
镀金属
蚀刻条件
溶液处理
加工处理
金属盐
硫化物
金属槽
分类号
TQ320.672 [化学工程—合成树脂塑料工业]
TQ153 [化学工程—电化学工业]
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职称材料
题名
纳米孔径核孔模的制备研究
被引量:
17
8
作者
彭良强 P.Yu.Apel
机构
中国科学院高能物理研究所
出处
《高能物理与核物理》
EI
CSCD
北大核心
2001年第4期359-364,共6页
基金
中国科学院九五重点项目
核分析开放实验室基金资助&&
文摘
高能硫、氪、氙离子轰击聚酯(PET)和聚碳酸酯(PC)膜后,对样品进行陈化和紫外线照射敏化。用电导法着重研究蚀刻条件对样品的归一化径迹蚀刻速率(灵敏度)的影响,结果表明优化条件下灵敏度较通用条件下提高约2倍,PET的灵敏度可达1000,PC的灵敏度可达2000,可以用于制备纳米孔径核孔膜。核孔膜中填充的铜纳米线的电镜照片显示出纳米线最小直径为20nm。用电导法计算纳米孔的孔径,该值与纳米线直径的电镜测量值在孔径大于30nm时符合良好。
关键词
核孔模
纳米技术
电导法
纳米孔径
蚀刻条件
高能重离子
纳米线
Keywords
nuclear track membranes, nano technology, conductometric measurement
分类号
O571 [理学—粒子物理与原子核物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多种矿物裂变径迹蚀刻条件研究
杨麒可
《广东化工》
CAS
2024
0
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职称材料
2
石英裂变径迹蚀刻条件的对比实验研究
刘春茹
刘秀明
王世杰
张峰
《地球化学》
CAS
CSCD
北大核心
2007
5
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职称材料
3
电气石裂变径迹蚀刻条件研究
高绍凯
袁万明
董金泉
王世成
《核技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
下载PDF
职称材料
4
蚀刻腔条件对刻蚀工艺的影响研究
陈乐乐
朱亮
包大勇
季高明
蔡辉
李东霞
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2008
4
下载PDF
职称材料
5
汽轮机转子钢在硝酸酒精溶液中的蚀刻行为研究
张胜寒
黄现龙
陈超
《汽轮机技术》
北大核心
2007
0
下载PDF
职称材料
6
基于CR-39固体探测器的粒子识别
徐秀清
夏晓彬
李洋
蔡军
陈畅其
黄文博
谢桂英
高崚威
《辐射研究与辐射工艺学报》
CAS
CSCD
2018
1
下载PDF
职称材料
7
塑料表面敷镀金属的方法
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2008
0
下载PDF
职称材料
8
纳米孔径核孔模的制备研究
彭良强 P.Yu.Apel
《高能物理与核物理》
EI
CSCD
北大核心
2001
17
原文传递
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