掩膜间隙和刻蚀温度对738模具钢侧蚀量的影响

采用喷淋蚀刻工艺对738模具钢进行微细蚀刻加工,研究了蚀刻加工中掩膜间隙和蚀刻温度对侧蚀量的影响。通过单因素方差分析对因素水平进行显著性检验,采用OriginPro 8.0拟合测蚀量与掩膜间隙、蚀刻温度关系的方程。结果表明,掩膜间隙和蚀刻温度对侧蚀量有显著性影响;在30℃蚀刻时,侧蚀量随掩膜间隙的增大先快速增大后减小;在150μm掩膜间隙下蚀刻,侧蚀量随蚀刻温度的增加而增加。

核孔膜的非常规蚀刻法

不对称蚀刻法的分析表明 ,在灵敏度不变时可以得到小孔径核孔膜。实验显示 ,由于孔径不均匀现象的制约 ,核孔膜的孔径可减小到 1/ 2。温度梯度蚀刻法的分析表明 ,导通时间的减小与膜两面的温度差成正比 ,在实际条件下孔径减小到 1/ 5。模拟计算表明 ,采用该方法可得到柱状孔核孔膜 ,但蚀刻过程很难控制。

喷淋蚀刻模具钢的蚀刻深度研究

采用喷淋式蚀刻机,以FeCl3基蚀刻液对模具钢进行喷淋蚀刻,通过测定不同蚀刻液温度、不同喷淋压力下的蚀刻深度,考察了几个独立因素对蚀刻深度的影响,得出蚀刻深度的规律性变化:蚀刻深度增长速率随蚀刻液温度的升高而增大,随喷淋压力的增大而先增大,后逐渐减小。分析了蚀刻深度呈此种变化规律的原因。

核孔膜的非常规蚀刻法

不对称蚀刻法的分桥表明，在灵敏度不变时可以得到小孔径核孔膜。实验显示，由于孔径不均匀现象的制约，核孔膜的孔径可减小到1／2。温度梯度蚀刻法的分桥表明，导通时间的减小与膜两面的温度差成正比，在实际条件下孔径减小到1／5。模拟计算表明，采用该方法可得到控状孔核孔膜，但蚀刻过程很难控制。