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题名新型强力压电马达及其在恶劣条件下原子成像中的应用
被引量:1
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作者
陆轻铀
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机构
中国科学院合肥物质科学研究院中国科学院强磁场科学中心
中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家实验室(筹)
南京大学人工微结构科学与技术协同创新中心
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出处
《物理》
CAS
北大核心
2017年第3期168-177,共10页
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基金
国家自然科学基金(批准号:U1232210
51627901
+2 种基金
11374278)资助项目
稳态强磁场实验装置组合显微测试系统项目
国家重点研发计划项目(批准号:2016YFA0401003)
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文摘
该文针对现有压电马达应用于扫描探针显微镜时,难以在恶劣条件下获得高品质原子分辨率图像的问题,介绍了文章作者近年研制的新型小尺寸大推力压电马达,其中包括:壁虎马达、熊猫马达、金枪鱼马达和蜘蛛马达以及它们的一些压电片叠堆型设计,给出了它们的结构图、实物照片和工作原理。文章还讨论了如何利用它们制成高质量的扫描隧道显微镜(STM)和磁力显微镜(MFM),并特别展示了用这种STM在无隔音、无减震条件下,甚至在强振动干扰的恶劣条件下测得的高清晰原子分辨率图像。虽然这些高品质原子分辨率成像主要是由壁虎马达制成的STM给出的,但金枪鱼马达具有更强的输出推力,具有在更恶劣条件下的应用潜力。蜘蛛马达是一种惯性马达,但能够比传统惯性马达输出更强的推力,所以也具有在恶劣条件下应用的潜力。
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关键词
压电马达
壁虎马达
熊猫马达
金枪鱼马达
蜘蛛马达
扫描隧道显微镜
磁力显微镜
水冷磁体
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Keywords
piezoelectric motor, GeckoDrive, PandaDrive, TunaDrive, SpiderDrive, STM,MFM. water-cooled magnet
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分类号
TH742
[机械工程—光学工程]
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