-
题名微机械G开关的研制
被引量:7
- 1
-
-
作者
陈光焱
吴嘉丽
赵龙
-
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
-
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2005年第6期82-84,共3页
-
基金
中国工程物理研究院预研基金资助项目(2002-4210503-5-03)
-
文摘
设计制作了一种微机械G开关,该微加速度开关采用微机电系统(MEMS)体加工工艺,其敏感元件由螺旋梁支撑的检测质量块和它下面的微触点构成,在外界加速度作用下,检测质量块发生位移,完成与触点的接通。经离心测试,在通电0.8A情况下,接通门限值为2.8gn,接通电阻为0.6Ω;经振动测试,不响应高于85Hz的高频振动,在5×104gn高冲击下,测试未见损坏。
-
关键词
G开关
触点
螺旋粱
-
Keywords
G-switch
electrode tip
spiral beam
-
分类号
TM56
[电气工程—电器]
-