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蠕动爬行微电机械力-电耦合的致动特性分析
被引量:
1
1
作者
杨小斌
周又和
《计算力学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期518-522,共5页
对于以施加电场作为驱动的蠕动爬行微电机构 ,在柔韧薄板理论和电学物理基础上 ,通过考虑驱动元件在电场力作用下的几何非线性变形和与结构变形相关的电荷分布及电场力分布 ,建立了其驱动元件的非线性耦合模型。在此基础上 ,采用矩量法...
对于以施加电场作为驱动的蠕动爬行微电机构 ,在柔韧薄板理论和电学物理基础上 ,通过考虑驱动元件在电场力作用下的几何非线性变形和与结构变形相关的电荷分布及电场力分布 ,建立了其驱动元件的非线性耦合模型。在此基础上 ,采用矩量法和增量有限元法相结合 。
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关键词
蠕动爬行微电机械
力-电耦合
致动特性
微电子加工
变形特征
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职称材料
题名
蠕动爬行微电机械力-电耦合的致动特性分析
被引量:
1
1
作者
杨小斌
周又和
机构
兰州大学力学系
出处
《计算力学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期518-522,共5页
基金
国家杰出青年科学基金
科技部基础研究重大项目前期预研专项
+1 种基金
教育部高校骨干教师基金
教育部高校博士点专项基金资助项目
文摘
对于以施加电场作为驱动的蠕动爬行微电机构 ,在柔韧薄板理论和电学物理基础上 ,通过考虑驱动元件在电场力作用下的几何非线性变形和与结构变形相关的电荷分布及电场力分布 ,建立了其驱动元件的非线性耦合模型。在此基础上 ,采用矩量法和增量有限元法相结合 。
关键词
蠕动爬行微电机械
力-电耦合
致动特性
微电子加工
变形特征
Keywords
Bending (deformation)
Electric fields
Method of moments
Numerical methods
分类号
TH-39 [机械工程]
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
蠕动爬行微电机械力-电耦合的致动特性分析
杨小斌
周又和
《计算力学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
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职称材料
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参考文献
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