同轴度误差的非接触精密测量方法

根据夫朗和费单缝衍射原理 ,以激光作光源 ,采用线阵 CCD获取衍射条纹图像 ,实现同轴度误差的非接触自动测量。通过对比测量和精度分析表明该方法测量精度高 ,测量装置结构简单 。