二维反射光栅衍射畸变的光散射方法研究

利用光散射方法理论分析了二维反射式正弦光栅衍射场,得到了衍射极大光点的佗置坐标,并讨论了衍射极大光点位置的性质与畸变问题.对于与人射而垂直方向变化的栅线衍射极大光点,给出了畸变的坐标曲线并其进行了数值计算.实验测量正弦反射光栅衍射的光强分布,各级衍射极大光点的位置分布与理论结果很好地符合.

预警卫星大口径拼接组合型二元衍射校正元件制作工艺研究

介绍了一种取代预警卫星红外施密特望远镜折射校正板的二元衍射校正板的设计及工艺制作方法 ,并对该拚接组合型的二元衍射校正板的制作误差进行了分析。

飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术及其应用

激光加工技术作为重要的先进制造技术之一已广泛应用于众多的工业制造领域.利用激光直写技术进行材料加工时,其所能达到的加工分辨率一直受到经典光学理论衍射极限的限制,难于进行纳米尺度的加工.飞秒脉冲激光的出现不仅为研究光与物质相互作用的超快过程提供了手段,也为发展先进的微纳米加工技术提供了不可多得的光源.近年来,作为最新的激光加工技术之一的飞秒脉冲激光多光子微纳加工技术已成为国际上研究的热点.该技术利用多光子效应和激光与物质作用的阈值效应,成功地实现了纳米尺度的激光直写加工分辨率,可望在功能性微纳器件制备等纳米技术领域发挥重要作用,具有广阔的应用前景.在2001年日本科学家利用飞秒脉冲激光双光子聚合技术首次突破衍射极限获得120nm的加工分辨率后,最近我国科学家实现了15nm线宽的纳米尺度加工分辨率.在利用多光束并行加工技术进行快速、大批量微纳结构加工的同时,最新发展的多光束组合技术实现了多部件组合加工、一次成型,解决了微尺度零部件组装难题,为微纳尺度器件及微机电系统的开发提供了具有实用化前景的加工方法与途径.利用飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术的高精度、良好的空间分辨率和真三维加工能力的特点,各国科学家制备出了各种微尺度光子学器件及微机电系统,充分展示了该技术的应用前景.随着对飞秒脉冲激光与物质相互作用机理、加工技术及相关材料技术的深入研究,飞秒脉冲微纳加工技术必将获得快速发展,并在先进纳米制造领域获得新的突破.