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衍射法细丝直径的精密测量 被引量:9
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作者 邾继贵 叶声华 陶国智 《光电工程》 CAS CSCD 1996年第3期59-63,共5页
分析了激光衍射法测量细丝直径技术中影响精度的几个主要因素,研究了一种微弱衍射条纹的精密处理及识别技术,有效地提高了测量精度。实测结果表明,文中讨论的技术能在10~50μm的范围内实现正负0.1μm的重复精度,分辨力优... 分析了激光衍射法测量细丝直径技术中影响精度的几个主要因素,研究了一种微弱衍射条纹的精密处理及识别技术,有效地提高了测量精度。实测结果表明,文中讨论的技术能在10~50μm的范围内实现正负0.1μm的重复精度,分辨力优于0.01μm。 展开更多
关键词 直径测量 衍射测量术 激光无损检测 精密测量
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衍射法测量柱形颗粒群尺寸分布的数值计算方法 被引量:2
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作者 周革 刘则毅 +2 位作者 张以谟 李贺桥 毛义 《光电工程》 CAS CSCD 1996年第4期40-44,共5页
以柱形颗粒的衍射理论为基础,提出了适用于非球形颗粒衍射模型的数值计算方法。应用结果证明这种计算方法的数值计算时间满足在线测量的需要。
关键词 粒度测量 衍射测量术 数值计算 实时测量 激光
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