扫描电子显微技术与表征技术的发展与应用

扫描电镜是研究材料微观结构的有力工具,电子显微技术与表征技术的发展,进一步推动了扫描电镜在材料各领域应用。随着各领域研究方向的细分化和应用需求的差异化,扫描电子显微技术与表征技术出现了差异化发展趋势,这极大丰富了商品化SEM产品类别。扫描电子显微技术的主要发展方向有高分辨率、低加速电压、低真空工作环境、大样品仓、大探针电流、电镜微型化等。电子显微表征技术的主要发展方向有高通量快速表征、显微表征原位化、样品结构信息采集三维化、电镜功能集成一体化等。