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辉光放电清洗效果的质谱分析
被引量:
2
1
作者
黄天斌
陈旭
+1 位作者
金奇计
查良镇
《真空》
CAS
北大核心
2005年第5期29-31,共3页
在辉光放电清洗的实验研究中,应用质谱技术进行了出气分析,应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估。实验结果表明,质谱技术能准确地分析表面吸附气体的分压强,氦离子的轰击可去除以及置换出样品中的气体,氮气、氧气和油蒸气在辉...
在辉光放电清洗的实验研究中,应用质谱技术进行了出气分析,应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估。实验结果表明,质谱技术能准确地分析表面吸附气体的分压强,氦离子的轰击可去除以及置换出样品中的气体,氮气、氧气和油蒸气在辉光放电清洗后的出气量下降,有利于超高真空的获得和维持。
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关键词
辉光放电清洗
质谱分析
表面出气
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职称材料
兰州重离子冷却储存环超高真空系统首台样机的研制
被引量:
1
2
作者
杨晓天
张军辉
+3 位作者
张新俊
吴慧敏
蒙峻
候生军
《真空与低温》
2001年第3期169-173,共5页
介绍了兰州重离子冷却储存环 (HIRFL -CSR)超高真空系统首台样机的研制过程 ,给出了实验结果。介绍各真空室结构 ,对关键标准设备进行了测试与选型。根据实验结果估算出极限真空条件下材料的表面出气率 ;根据公式估算出钛升华泵的有效...
介绍了兰州重离子冷却储存环 (HIRFL -CSR)超高真空系统首台样机的研制过程 ,给出了实验结果。介绍各真空室结构 ,对关键标准设备进行了测试与选型。根据实验结果估算出极限真空条件下材料的表面出气率 ;根据公式估算出钛升华泵的有效抽速并通过实验得到证实 ;对真空烘烤装置的初步工作也作了介绍。样机达到了 3× 10 -9Pa的设计指标 ,结果表明HIRFL
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关键词
超高真空系统
表面出气
率
真空烘烤
加速器
设计
兰州重离子冷却储存环
下载PDF
职称材料
Surface Outgassing Rate Calculation for the First UHV Prototype of HIRFL-CSR
3
《近代物理研究所和兰州重离子加速器实验室年报:英文版》
2000年第1期79-79,共1页
关键词
存储环
高真空样机
表面出气
率
下载PDF
职称材料
题名
辉光放电清洗效果的质谱分析
被引量:
2
1
作者
黄天斌
陈旭
金奇计
查良镇
机构
清华大学电子工程系
出处
《真空》
CAS
北大核心
2005年第5期29-31,共3页
文摘
在辉光放电清洗的实验研究中,应用质谱技术进行了出气分析,应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估。实验结果表明,质谱技术能准确地分析表面吸附气体的分压强,氦离子的轰击可去除以及置换出样品中的气体,氮气、氧气和油蒸气在辉光放电清洗后的出气量下降,有利于超高真空的获得和维持。
关键词
辉光放电清洗
质谱分析
表面出气
Keywords
glow discharge cleaning
mass spectrometery
surface outgassing
分类号
O461 [理学—电子物理学]
下载PDF
职称材料
题名
兰州重离子冷却储存环超高真空系统首台样机的研制
被引量:
1
2
作者
杨晓天
张军辉
张新俊
吴慧敏
蒙峻
候生军
机构
中国科学院近代物理研究所
出处
《真空与低温》
2001年第3期169-173,共5页
文摘
介绍了兰州重离子冷却储存环 (HIRFL -CSR)超高真空系统首台样机的研制过程 ,给出了实验结果。介绍各真空室结构 ,对关键标准设备进行了测试与选型。根据实验结果估算出极限真空条件下材料的表面出气率 ;根据公式估算出钛升华泵的有效抽速并通过实验得到证实 ;对真空烘烤装置的初步工作也作了介绍。样机达到了 3× 10 -9Pa的设计指标 ,结果表明HIRFL
关键词
超高真空系统
表面出气
率
真空烘烤
加速器
设计
兰州重离子冷却储存环
Keywords
ultra-high vacuum system
out-gassing rate
vacuum bake-out
分类号
TL594 [核科学技术—核技术及应用]
TL503.7 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
Surface Outgassing Rate Calculation for the First UHV Prototype of HIRFL-CSR
3
出处
《近代物理研究所和兰州重离子加速器实验室年报:英文版》
2000年第1期79-79,共1页
关键词
存储环
高真空样机
表面出气
率
分类号
O572.211 [理学—粒子物理与原子核物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
辉光放电清洗效果的质谱分析
黄天斌
陈旭
金奇计
查良镇
《真空》
CAS
北大核心
2005
2
下载PDF
职称材料
2
兰州重离子冷却储存环超高真空系统首台样机的研制
杨晓天
张军辉
张新俊
吴慧敏
蒙峻
候生军
《真空与低温》
2001
1
下载PDF
职称材料
3
Surface Outgassing Rate Calculation for the First UHV Prototype of HIRFL-CSR
《近代物理研究所和兰州重离子加速器实验室年报:英文版》
2000
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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参考文献
引证文献
统计分析
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