辉光放电清洗效果的质谱分析

在辉光放电清洗的实验研究中,应用质谱技术进行了出气分析,应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估。实验结果表明,质谱技术能准确地分析表面吸附气体的分压强,氦离子的轰击可去除以及置换出样品中的气体,氮气、氧气和油蒸气在辉光放电清洗后的出气量下降,有利于超高真空的获得和维持。

兰州重离子冷却储存环超高真空系统首台样机的研制

介绍了兰州重离子冷却储存环 (HIRFL -CSR)超高真空系统首台样机的研制过程 ,给出了实验结果。介绍各真空室结构 ,对关键标准设备进行了测试与选型。根据实验结果估算出极限真空条件下材料的表面出气率 ;根据公式估算出钛升华泵的有效抽速并通过实验得到证实 ;对真空烘烤装置的初步工作也作了介绍。样机达到了 3× 10 -9Pa的设计指标 ,结果表明HIRFL