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低能Pt原子与Pt(111)表面相互作用的分子动力学模拟
被引量:
15
1
作者
张超
吕海峰
张庆瑜
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第10期2329-2334,共6页
利用分子动力学模拟方法详细研究了低能Pt原子与Pt(111)表面的相互作用所导致的表面吸附原子、溅射原子、表面空位的产生及分布规律 ,给出了表面吸附原子产额、溅射原子产额和表面空位产额随入射Pt原子能量的变化关系 .模拟结果显示 :...
利用分子动力学模拟方法详细研究了低能Pt原子与Pt(111)表面的相互作用所导致的表面吸附原子、溅射原子、表面空位的产生及分布规律 ,给出了表面吸附原子产额、溅射原子产额和表面空位产额随入射Pt原子能量的变化关系 .模拟结果显示 :溅射产额、表面吸附原子产额和表面空位产额随入射原子的能量的增加而增加 ,溅射原子、表面吸附原子的分布花样呈 3度旋转对称性质 ;当入射粒子能量高于溅射阈值时 ,表面吸附原子主要是基体最表面原子的贡献 ,入射粒子直接成为表面吸附原子的概率很小 .其主要原因是 :当入射粒子能量高于溅射能量阈值时 ,入射原子穿透基体表层的概率迅速增加 ,使得入射原子直接成为表面吸附原子的概率大大降低 .此外 。
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关键词
相互作用
分子动力学
低能粒子
表面原子产额
空位缺陷
溅射
薄膜制备
计算机模拟
铂
原子
微观机制
原文传递
替位杂质对低能Pt原子与Pt(111)表面相互作用影响的分子动力学模拟
被引量:
1
2
作者
张超
王永亮
+1 位作者
颜超
张庆瑜
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期2882-2891,共10页
采用嵌入原子方法的原子间相互作用势,通过分子动力学方法模拟了低能Pt原子与Cu,Ag,Au,Ni,Pd替位掺杂Pt(111)表面的相互作用过程,系统研究了替位原子对表面吸附原子产额、溅射产额和空位缺陷产额的影响规律,分析了低能沉积过程中沉积原...
采用嵌入原子方法的原子间相互作用势,通过分子动力学方法模拟了低能Pt原子与Cu,Ag,Au,Ni,Pd替位掺杂Pt(111)表面的相互作用过程,系统研究了替位原子对表面吸附原子产额、溅射产额和空位缺陷产额的影响规律,分析了低能沉积过程中沉积原子与基体表面的相互作用机理以及替位原子的作用及其影响规律.研究结果显示:替位原子的存在不仅影响着沉积能量较低时的表面吸附原子的产额与空间分布,而且对沉积能量较高时的低能表面溅射过程和基体表面空位的形成产生重要影响.替位原子导致的表面吸附原子产额、表面原子溅射以及空位形成的变化与替位原子的质量密切相关,质量较小的替位原子导致择优溅射以及溅射阈值的降低.此外,根据二体碰撞模型和载能原子的反射机理探讨了低能沉积过程中沉积原子与基体表面的相互作用机理.
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关键词
分子动力学
低能粒子
替位掺杂
表面原子产额
溅射
空位
原文传递
题名
低能Pt原子与Pt(111)表面相互作用的分子动力学模拟
被引量:
15
1
作者
张超
吕海峰
张庆瑜
机构
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第10期2329-2334,共6页
基金
国家自然科学基金 (批准号 :10 0 75 0 0 9)
教育部重点科技项目 (批准号 :9914 8)资助课题~~
文摘
利用分子动力学模拟方法详细研究了低能Pt原子与Pt(111)表面的相互作用所导致的表面吸附原子、溅射原子、表面空位的产生及分布规律 ,给出了表面吸附原子产额、溅射原子产额和表面空位产额随入射Pt原子能量的变化关系 .模拟结果显示 :溅射产额、表面吸附原子产额和表面空位产额随入射原子的能量的增加而增加 ,溅射原子、表面吸附原子的分布花样呈 3度旋转对称性质 ;当入射粒子能量高于溅射阈值时 ,表面吸附原子主要是基体最表面原子的贡献 ,入射粒子直接成为表面吸附原子的概率很小 .其主要原因是 :当入射粒子能量高于溅射能量阈值时 ,入射原子穿透基体表层的概率迅速增加 ,使得入射原子直接成为表面吸附原子的概率大大降低 .此外 。
关键词
相互作用
分子动力学
低能粒子
表面原子产额
空位缺陷
溅射
薄膜制备
计算机模拟
铂
原子
微观机制
Keywords
molecular dynamics simulation, low energy atom, sputtering, adatom, vacancy
分类号
O485 [理学—固体物理]
原文传递
题名
替位杂质对低能Pt原子与Pt(111)表面相互作用影响的分子动力学模拟
被引量:
1
2
作者
张超
王永亮
颜超
张庆瑜
机构
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期2882-2891,共10页
基金
国家自然科学基金委-中国工程物理研究院联合基金(批准号:10476003)资助的课题~~
文摘
采用嵌入原子方法的原子间相互作用势,通过分子动力学方法模拟了低能Pt原子与Cu,Ag,Au,Ni,Pd替位掺杂Pt(111)表面的相互作用过程,系统研究了替位原子对表面吸附原子产额、溅射产额和空位缺陷产额的影响规律,分析了低能沉积过程中沉积原子与基体表面的相互作用机理以及替位原子的作用及其影响规律.研究结果显示:替位原子的存在不仅影响着沉积能量较低时的表面吸附原子的产额与空间分布,而且对沉积能量较高时的低能表面溅射过程和基体表面空位的形成产生重要影响.替位原子导致的表面吸附原子产额、表面原子溅射以及空位形成的变化与替位原子的质量密切相关,质量较小的替位原子导致择优溅射以及溅射阈值的降低.此外,根据二体碰撞模型和载能原子的反射机理探讨了低能沉积过程中沉积原子与基体表面的相互作用机理.
关键词
分子动力学
低能粒子
替位掺杂
表面原子产额
溅射
空位
Keywords
molecular dynamics, low-energy deposition, substitutional impurity, adatom yields, sputtering, vacancy
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低能Pt原子与Pt(111)表面相互作用的分子动力学模拟
张超
吕海峰
张庆瑜
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
15
原文传递
2
替位杂质对低能Pt原子与Pt(111)表面相互作用影响的分子动力学模拟
张超
王永亮
颜超
张庆瑜
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
原文传递
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