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晶圆超精密磨削加工表面层损伤的研究 被引量:2
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作者 张文斌 高岳 张敏杰 《电子工业专用设备》 2015年第5期21-24,共4页
介绍了晶圆减薄机的工艺过程和原理,研究了磨削工艺中砂轮粒度、砂轮进给率、砂轮转速和工作台转速对硅片表面层损伤深度的影响。
关键词 晶圆 磨削 表面层损伤
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切割单晶及多晶硅片表面层损伤研究
2
作者 孙希凯 《环球市场》 2016年第28期75-75,共1页
硅半导体器件、特别是大规模集成电路的可靠性,在很大程度上取决于硅片表面的加工质量。为了获得表面加工质量较好的硅片,除了改善加工方法外,还必须建立起一种较为灵敏的检测手段,才能比较真实地反映硅片表面的加工状态。基于此,... 硅半导体器件、特别是大规模集成电路的可靠性,在很大程度上取决于硅片表面的加工质量。为了获得表面加工质量较好的硅片,除了改善加工方法外,还必须建立起一种较为灵敏的检测手段,才能比较真实地反映硅片表面的加工状态。基于此,本文将着重分析探讨切割单晶及多晶硅片表面层损伤,以期能为以后的实际工作起到一定的借鉴作用。 展开更多
关键词 单晶硅片 多晶硅片 切割 表面层损伤
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碲锌镉晶片研抛加工表面层损伤的研究
3
作者 张文斌 郭俊伟 葛劢翀 《电子工业专用设备》 2019年第5期26-28,47,共4页
介绍了碲锌镉晶片背面研抛机的工艺过程和原理,研究了研抛工艺中砂轮粒度、砂轮进给率、砂轮转速和工作台转速对晶片表面层损伤深度的影响。
关键词 碲锌镉 研抛 表面层损伤
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激光刻痕取向硅钢底层损伤效应研究
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作者 贾增本 张乾 +4 位作者 庞旭 王祥辉 赵福轶 郭琪 贾志伟 《电工钢》 CAS 2023年第5期8-15,共8页
以激光刻痕取向硅钢为研究对象,研究了刻痕过程表面层损伤效应。结果表明,取向硅钢表面层由1.5μm左右的绝缘层、2.5μm左右硅酸镁底层组成,刻痕处理使表面层烧损形成刻线,并在内部形成裸露铁基体和Mg_(2)SiO_(4)的微小孔洞。在刻痕功... 以激光刻痕取向硅钢为研究对象,研究了刻痕过程表面层损伤效应。结果表明,取向硅钢表面层由1.5μm左右的绝缘层、2.5μm左右硅酸镁底层组成,刻痕处理使表面层烧损形成刻线,并在内部形成裸露铁基体和Mg_(2)SiO_(4)的微小孔洞。在刻痕功率较低情况下,刻线为直径50μm的浅轻状断续斑痕,未形成有效刻线。此外,通过提高刻痕功率、降低刻痕频率和速度、增加激光光源能量和作用时间,可使刻线宽度和深度增加,但刻线内部裸露基体和Mg_(2)SiO_(4)的增加以及孔洞密度的增加,不利于产品绝缘性和耐蚀性。 展开更多
关键词 高磁感取向硅钢 激光刻痕 表面层损伤
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Ultrasonic testing and microscopic analysis on concrete under sulfate attack and cyclic environment 被引量:7
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作者 姜磊 牛荻涛 +1 位作者 孙迎召 费倩男 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2014年第12期4723-4731,共9页
The damage process of concrete exposed to sodium sulfate attack and drying-wetting cycles was investigated. The water to binder(W/B) ratio and the concentration of sulfate solution were taken as variable parameters. T... The damage process of concrete exposed to sodium sulfate attack and drying-wetting cycles was investigated. The water to binder(W/B) ratio and the concentration of sulfate solution were taken as variable parameters. Through the experiment, visual change, relative dynamic modulus of elasticity(RDME) and the surface damage layer thickness of concrete were measured.Furthermore, SEM and thermal analysis were used to investigate the changing of microstructure and corrosion products of concrete.The test results show that the ultrasonic velocity is related to the damage layer of concrete. It approves that an increase in damage layer thickness reduces the compactness and the ultrasonic velocity. The deterioration degree of concrete could be estimated effectively by measuring the surface damage layer and the RDME of concrete. It is also found that the content of gypsum in concrete is less than that of ettringite in test, and some gypsum is checked only after a certain corrosion extent. When the concrete is with high W/B ratio or exposed to high concentration of sulfate solution, the content of ettringite first increases and then decreases with corrosion time. However, the content of gypsum increases at a steady rate. The content of corrosion products does not correspond well with the observations of RDME change, and extensive amount of corrosion products can be formed before obvious damage occurs. 展开更多
关键词 sulfate attack drying-wetting cycles damage layer thickness thermal analysis
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