表面微放电等离子体特性参数计算及介质片性质的影响

表面微放电(SMD)在不同的领域有着越来越广泛的应用。为了深入理解其放电特性及介质片性质的影响,基于放电物理过程及SMD特有的放电结构,建立了等效电路模型,并联立Boltzmann方程求解器求解电子连续性方程,得到气隙电压、等离子体电阻及电子密度等特性参数。结果表明,对于同一种类不同厚度的介质片,功率相同时的放电面积及各特性参数一致,对于不同种类的介质片,介电常数较大的介质片下SMD的放电功率、气隙电压、等离子体电阻及电子密度随外加电压的变化率较大。在电压相似的情况下,相同厚度下介电常数较大的介质片放电功率及气隙电压更大,等离子体电阻更小。最后通过比较计算功率和测量功率,验证了模型及仿真计算的正确性。