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钨离子沉积聚酯薄膜表面抗磨损特性
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作者 吴瑜光 张通和 +1 位作者 张旭 刘安东 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期352-355,共4页
采用钨离子束磁过滤技术 ,对引出的钨离子束中大颗粒离子进行过滤后 ,再注入和沉积到聚酯薄膜 (PET)表面 ,可获得抗磨损特性优异的沉积的金属钨膜 .扫描电子显微镜观察表明 ,大颗粒已被过滤 ,表面结构致密 .测量表明 ,镀膜的硬度、弹性... 采用钨离子束磁过滤技术 ,对引出的钨离子束中大颗粒离子进行过滤后 ,再注入和沉积到聚酯薄膜 (PET)表面 ,可获得抗磨损特性优异的沉积的金属钨膜 .扫描电子显微镜观察表明 ,大颗粒已被过滤 ,表面结构致密 .测量表明 ,镀膜的硬度、弹性模量和抗磨损特性得到了很大的提高 ,与基体的黏合特性有了明显改善 . 展开更多
关键词 钨离子沉积 聚酯薄膜 表面抗磨损特性 磁过滤弧源沉积 纳米硬度测量 表面结构 弹性模量
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