球磨工艺对机械合金化制备AlN涂层的影响

在金属Al基板表面制备AlN涂层可结合两者优势,使得复合基板具有优异的导热性、绝缘性以及与芯片匹配的热膨胀系数,有望获得大规模应用。本文采用表面机械纳米合金化工艺在铝表面制备AlN涂层,使用光学显微镜,扫描电子显微镜等设备对系统地研究了工艺参数对其结构的影响,分析了涂层形成过程及相关作用机理。同时,为了减缓Al基体与AlN涂层之间的不匹配性,还设计并制备了W-Al中间过渡层,并通过优化工艺参数对中间过渡层的结构进行了调控。