锥形轮廓亚波长二维表面浮雕结构的矢量衍射特性

本文利用严格耦合波理论对多台阶逼近锥形轮廓的亚波长二维表面浮雕结构进行了计算分析 .从本文的计算结果来看 ,采用多台阶来逐步逼近锥形轮廓的亚波长零级二维表面浮雕结构具有在宽波段、大视角上能够实现抗反射 ,并且对光波的偏振态下不敏感的特性 .从而使得该结构为薄膜光学在材料的选择方面提供了极大的选择自由度 .

二维表面浮雕结构的矢量衍射分析

利用等效介质理论 ,通过严格的耦合波理论计算和分析了二维表面浮雕结构的反射效率与各种因素的关系 ,给出了不同情况下的变化曲线 ;同时计算出了该结构在正入射情况下的等效折射率系数。明确提出 :不管是对称的还是非对称的二维表面浮雕结构 ,方位角和极化角的变化对其反射率的影响都不明显 ;从而得出二维表面浮雕结构可以实现消偏振、减反的特性。分析了该结构的带宽限制 ,给出了在给定结构下受限的带宽 ;同时对浮雕高度加工误差对反射率的影响作了分析 。

蚀刻表面面形的分析

采用一个有效的数学模型 ,分析了在蚀刻工艺中基底自身面形轮廓的曲线形状对基底局部区域的蚀刻速率产生的影响 ,并通过对数学模型的理论分析和计算机模拟得出受此影响而产生的面形形状 ,并将结果与实验进行对比 .利用这个数学模型对使用离子束蚀刻制作单台阶光栅的台阶与沟槽部分的表面面形随时间的演变过程进行了计算机模拟分析 ,并通过把理论结果与在实验中得到的蚀刻表面在原子力显微镜 ( AFM)下拍摄的照片进行比较 ,结果说明这种模拟分析能够保证对该问题分析所要求的精度 。

光的干涉与衍射

O436.1//TH703 2002010049微角锥棱镜阵列回归反射器衍射特性=Diffractiveproperties of micro - prism retro - reflectors[刊,中]/袁景用,张延炘,王勇,陈戍,刘玥(南开大学现代光学研究所.天津(300071)),陈波(四川大学物理系.四川,成都(610064))∥光电子·激光.—2001,12(1).

光的干涉与衍射

O436.1 2002053254 二维表面浮雕结构的矢量衍射分析=Vector analysisof two-dimensional surface-relief structurediffraction[刊,中]/鱼卫星,卢振武,王鹏,翁志成(中科院长春光机所应用光学国家重点实验室.吉林。

深刻蚀光栅的最新进展

深刻蚀光栅是指亚波长光栅的表面浮雕结构达到一定的优化刻蚀深度，实现特定偏振衍射效率最大值或者偏振控制。光栅是重要的光学器件，在光谱仪、激光核聚变装置中广泛使用。以往的光栅大多是浅表面调制的，也就是表面浮雕的深度不是很深。虽然光栅的理论和制造工艺取得了巨大的进展，但以前并没有预言过，石英光栅通过深刻蚀工艺可以实现偏振分光功能。