HFCVD金刚石膜电阻率研究

本文采用在金刚石表面蒸镀铝电极的方法测量金刚石膜的电阻率。样品的Raman ,SEM ,XRD分析结果表明 ,金刚石膜的电阻率与晶粒尺度、晶粒取向和缺陷及杂质有直接关系 ,大尺度晶粒的金刚石膜具有较高的电阻率 ,高比例的I( 110 ) /I( 111)晶粒取向的金刚石膜具有较高的电阻率 ;结构缺陷和杂质含量较小的金刚石膜具有较高的电阻率。