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表面连续凹凸光栅的高精密金刚石切削加工技术
1
作者
JunAmakoHitoshiNakaoShinichiroOchiai 李浏译
《云光技术》
2003年第3期18-26,共9页
报道在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)表面上用高精密金刚石直接切削加工连续凹凸光栅的工艺技术。根据设计的光栅轮廓和期望光栅表面达到的粗糙度,选择关键工艺参数如金刚石车刀尖端半径和切削步长。给出13个连续扇形相位光栅的实验结果。采...
报道在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)表面上用高精密金刚石直接切削加工连续凹凸光栅的工艺技术。根据设计的光栅轮廓和期望光栅表面达到的粗糙度,选择关键工艺参数如金刚石车刀尖端半径和切削步长。给出13个连续扇形相位光栅的实验结果。采用随机设计算法使相位轮廓最佳化。加工的3mm厚PMMA光栅,菲涅耳反射损失未修正时,测得的衍射效率为85%。衍射强度分布对与设计轮廓的任何一种偏差都很敏感,零级衍射强度受到的影响尤为突出。查明补偿材料回弹是保证光栅性能的关键。
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关键词
表面连续凹凸光栅
金刚石切削
衍射光学元件
回弹
粗糙度
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职称材料
题名
表面连续凹凸光栅的高精密金刚石切削加工技术
1
作者
JunAmakoHitoshiNakaoShinichiroOchiai 李浏译
出处
《云光技术》
2003年第3期18-26,共9页
文摘
报道在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)表面上用高精密金刚石直接切削加工连续凹凸光栅的工艺技术。根据设计的光栅轮廓和期望光栅表面达到的粗糙度,选择关键工艺参数如金刚石车刀尖端半径和切削步长。给出13个连续扇形相位光栅的实验结果。采用随机设计算法使相位轮廓最佳化。加工的3mm厚PMMA光栅,菲涅耳反射损失未修正时,测得的衍射效率为85%。衍射强度分布对与设计轮廓的任何一种偏差都很敏感,零级衍射强度受到的影响尤为突出。查明补偿材料回弹是保证光栅性能的关键。
关键词
表面连续凹凸光栅
金刚石切削
衍射光学元件
回弹
粗糙度
分类号
TH741.6 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
表面连续凹凸光栅的高精密金刚石切削加工技术
JunAmakoHitoshiNakaoShinichiroOchiai 李浏译
《云光技术》
2003
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