衬底表面处理对燃烧焰法沉积金刚石膜成核密度的影响

研究了衬底表面不同处理对燃烧焰法沉积金刚石成核密度的影响，发现用硬微粉（金刚石，碳化硅）对衬底的刻划，能明显地提高成核密度，在衬底表面涂覆机械泵油或先沉积薄类金刚石层也能显著提高成核密度。成核密度的提高有利于生长出连续金刚石膜。

镀膜技术及设备

O484.1 98031877Si（Ⅲ）衬底上IBE法外延生长B—FeSi2薄膜的研究=Study of iron dissilicide（B—FeSi2）epitaxialthin films on Si（Ⅲ）substrafe by mass—ana-lyzed low—energy ion beam epitaxy[刊,中]/李慧,马辉,丁维清（北京师范大学分析测试中心.北京（100875））,秦复光（中科院半导体所.北京（100083））