非扫描衰减全反射探测法监控光漂白过程

提出了一种基于衰减全反射原理的实时探测方法。其实验框架由半导体激光器、空间滤波器、聚焦透镜、耦合棱镜、CCD接受装置等组成。激光束先经空间滤波器扩束 ,再由透镜聚焦 ,以一定角宽度的光束聚焦于耦合棱镜底面 ,由于棱镜底面的波导结构 ,在反射光斑中会出现若干条吸收峰 ,即显示出标志波导模式的一组黑线 ,若外界条件变化时 (如紫外光照射、电极化等 ) ,波导薄膜某些参量会受外界条件的变化而变化 ,表现为黑线的移动 ,可根据黑线的移动量 ,精确测量每一时刻波导薄膜的折射率和膜厚等参量。利用这种技术 ,可以广泛地用于条波导制作、镀膜监控、薄膜极化监控。