迭代学习在运动台控制系统中的应用研究

为了满足晶圆缺陷检测设备运动台对运动轨迹的精确跟踪需求,在重复作业的系统中常采用迭代学习控制,缩短运动台运动的稳定时间,提高半导体检测设备的产率。针对普通的全局PD迭代算法的局限性可能造成系统在特定环节的劣化,实际应用中迭代时间长、次数多,滤波器型迭代学习应用中被控对象模型难以获得等问题,通过拟合实测传递函数,提出基于模型迭代学习的一种前馈控制算法。给出被控对象建模方法,提出改良后的滤波器型迭代学习控制,有效缩短迭代次数,降低运动台的跟踪误差和运动台稳定时间。实验结果表明,改进滤波器型迭代学习控制算法可以减小原来的轴运动的稳定时间30%左右,轴粗动时位置误差的均方根减小了原来的25%,改善了半导体检测设备运动台的轨迹跟踪性能,可以提高半导体检测设备的产率。