投影光刻机镜头的装校关键工艺与技术

重点介绍投影光刻镜头的装配结构、材料和加工、定心、检测、调整、连接等关键工艺环节的基本要求、工艺方法和保证措施。在此基础上介绍了一种光刻镜头专用装校系统 ;最后结合我国的光刻镜头研制现状和存在问题对今后的发展方向提出几点个人见解。