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投影光刻机镜头的装校关键工艺与技术
被引量:
3
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作者
拓普选
《电子工业专用设备》
2001年第3期8-14,共7页
重点介绍投影光刻镜头的装配结构、材料和加工、定心、检测、调整、连接等关键工艺环节的基本要求、工艺方法和保证措施。在此基础上介绍了一种光刻镜头专用装校系统 ;最后结合我国的光刻镜头研制现状和存在问题对今后的发展方向提出几...
重点介绍投影光刻镜头的装配结构、材料和加工、定心、检测、调整、连接等关键工艺环节的基本要求、工艺方法和保证措施。在此基础上介绍了一种光刻镜头专用装校系统 ;最后结合我国的光刻镜头研制现状和存在问题对今后的发展方向提出几点个人见解。
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关键词
投影光刻机
光刻镜光
装校工艺
微电子
工艺
半导体制造
下载PDF
职称材料
题名
投影光刻机镜头的装校关键工艺与技术
被引量:
3
1
作者
拓普选
机构
信息产业部电子第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2001年第3期8-14,共7页
文摘
重点介绍投影光刻镜头的装配结构、材料和加工、定心、检测、调整、连接等关键工艺环节的基本要求、工艺方法和保证措施。在此基础上介绍了一种光刻镜头专用装校系统 ;最后结合我国的光刻镜头研制现状和存在问题对今后的发展方向提出几点个人见解。
关键词
投影光刻机
光刻镜光
装校工艺
微电子
工艺
半导体制造
Keywords
Stepper
projective lens
Craftwork of assembling Adjustment method
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
投影光刻机镜头的装校关键工艺与技术
拓普选
《电子工业专用设备》
2001
3
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