有机薄膜电致发光器件工艺检测的一种简便方法——覆膜加热观测法

提出了一种简便易行、并与有机薄膜电致发光器件制备工艺完全兼容的工艺检测方法———覆膜加热观测法。这种方法是在器件的制备工艺过程中 ,同时在铟锡氧化物 (ITO)电极和各层有机薄膜上覆盖一层不透气的薄膜 (如金属Al膜等 ) ,接着进行快速加热 ,最后对器件表面进行形貌观测。采用这种方法 ,观察了器件表面气泡的形成过程 ,观察了加热温度、ITO表面处理以及有机物纯度对气泡形成的影响。实验表明 ,覆膜加热观测法能有效地对工艺进行对比检测 ,从而达到改进工艺、提高器件质量的目的。