针对键合晶圆的视觉与机械夹持预对准方法设计

在曝光设备中,预对准先将晶圆进行中心定位和角度找正,经过预对准的晶圆传送到工作台中方向及位置一致,保证设备稳定运行。为能满足键合晶圆的预对准要求,采用视觉与机械夹持的方式,设计预对准结构,获得键合晶圆的兼容性,保证设备对键合晶圆的稳定运行。

基于视觉寻口的旋盖压盖一体机设计

目的解决闭口铁桶封口设备存在的寻口速度慢、封口效率低和设备可靠性差的问题。方法设计了一种封口设备,采用视觉寻口技术实现寻口操作,同时将旋盖和压盖等2道工序设计在同一工位完成。结果寻口快速准确,并且只需对桶口定位1次,即可完成旋盖和压盖等2道工序。结论该设备经实际应用,工作可靠,封口效率高。

机器人连杆参数的视觉标定

机器人的连杆参数很难由几何方法测量。本文介绍了一种基于视觉测量装置的连杆参数确定方法,可对各种未知机械臂的连杆参数进行标定。

蓝宝石衬底晶圆上片工艺及智能化装备的研制

分析了蓝宝石衬底晶圆上片工艺现状,并结合工艺控制要求,提出了蓝宝石衬底晶圆上片工艺和装备智能化改造方案,设计研制了一种双工位智能化上片工艺装备,该装备采取三轴伺服控制并配合伯努力吸盘实现晶圆无损精准抓取,机器视觉技术配合机器人实现晶圆精准定位和自动装盘,并设计晶圆载具开合、锁紧机构以及升降式载具料筐,实现载具的供给、开合、锁紧、入库等动作。通过样机试验发现,装备功能和工艺精度均取得了良好的效果,满足使用要求,提高了生产效率,从根源解决了因人工操作可靠性和一致性难以保证而引起的晶圆质量问题。

基于遗传算法的工件位姿求取研究

针对智能寻位加工技术中的工件位姿求取问题 ,采用遗传算法予以解决 ,有效地消除了图象中存在的畸变、平移、尺度、旋转变换及其它非相关点的干扰 .实验表明 ,基于遗传算法进行工件的识别及位姿求取具有快速、有效、可靠的优势 。