半导体设备视觉清晰化技术研究

在蓝宝石衬底的LED生产工艺中,对半导体设备的显微镜成像清晰程度提出了很高的要求。以国内多家LED大型生产厂商的工艺为实验蓝本,针对多种清晰化方案进行了比对,进而提出一种基于图像处理的清晰化方案,并具有高度的实时性,可行性,可靠性。