衍射光栅外差激光干涉法角振动校准技术研究

开展了角加速度校准方法的研究和基准装置的研制。介绍研制的稳态正弦角振动激励系统和衍射光栅马赫-泽德干涉仪，以及结合采用正弦逼近法外差测量技术。角加速度国家计量基准装置在角振动频率0．05Hz～1．2kHz、角位移大于300。和角加速度大于2000rad／s^2测量范围内，可实现角加速度幅值和相位的精确测量。实验数据和测量不确定度分析结果表明，装置校准高精度角加速度传感器的测量扩展不确定度优于1％（k=2）。