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题名角度分辨光谱技术及其应用
被引量:1
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作者
赵景怡
赵茂雄
石磊
资剑
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机构
复旦大学应用表面物理国家重点实验室
复旦大学微纳光子结构教育部重点实验室
上海微纳制程智能检测工程技术研究中心
复旦大学-光检测与光集成校企联合研究中心
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出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第16期253-276,共24页
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基金
中国博士后科学基金会(BX20220093)
上海市科技委员会(19DZ2253000,19XD1434600,2019SHZDZX01,20501110500,21DZ1101500)
+2 种基金
国家自然科学基金(91963212,12221004,12234007)
国家重点研发计划(2021YFA1400603,2022YFA1404800)
上海市青年科技启明星扬帆专项项目(23YF1415300)。
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文摘
光谱是物质的光学指纹信息,是研究光与物质相互作用的重要手段。角度分辨光谱技术是对光谱在角度维度的进一步解析,能够分辨光的强度、偏振态和相位等信息,从而在生物医学、材料科学和微纳光子学等研究领域得到广泛应用。为了实现角度分辨光谱,目前已经开发了多种实验系统,并涌现出了大量数据处理算法。本文将介绍角度分辨光谱的生成方法、数据处理技术及其在不同研究领域中的应用。
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关键词
角度分辨光谱
光学逆散射问题
光学散射成像
光学特征尺寸
缺陷检测
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Keywords
angle-resolved spectrum
optical inverse scattering problems
optical scattering imaging
optical critical dimension
defect detection
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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