基于SolidWorks的四镜环形腔容差简易分析方法

针对环形激光谐振腔的光路变动的问题,基于SolidWorks建立了一个两平面镜和两凹面镜构成的四镜8字形稳定环形激光谐振腔模型。使用该方法分析了腔镜水平移动、垂直移动和绕光轴旋转对光路的影响,可以简单直观地观察到腔内光路的变化,并获得调节容差,模拟过程更加接近环形腔实际调节过程。当增大晶体和腔镜M1之间的距离L时,可以提高腔镜M2的水平位移容差,但角度容差有所降低,垂直容差变化不大。水平位移容差和角度容差有较强的耦合关系,腔镜水平方向的微动往往可以通过改变角度来补偿。所得到的结果对于腔设计、腔调节以及提高腔的精度具有重要的指导作用,同时可以推广到对三角形腔、正方形腔以及非平面环形腔等谐振腔的容差分析当中。