基于微变电容式传感器的角度—振动测量方法

利用微变电容式MEMS传感器,设计了一种角度—振动量的检测方法。以RC串联回路直流充放电理论为基础,单片机系统为主体,实现振动量和角度偏移量的检测。经过适当的滤波算法对原始信号进行处理,可以有效地减小噪声的干扰,并快速而准确地分离出基波分量和高次谐波分量,进而得出较好的振动曲线和角度曲线。经实验验证:角度检测和振动检测可同时进行且互不干扰。