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双通道声表面波转速传感器
被引量:
5
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作者
严庆文
魏益群
+2 位作者
李业隆
沈美娥
朱嘉林
《微纳电子技术》
CAS
2007年第7期260-262,共3页
以声表面波中的陀螺效应为理论基础,通过数值计算获得了LiNbO3基底上声表面波波速随基底转动速率的变化,以此为依据设计了一种双通道声表面波转速敏感结构,制作出双通道声表面波转速传感器。通过实验,该传感器的分辨率为12Hz/r.s-1。
关键词
声表面波
陀螺效应
角速力传感器
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职称材料
题名
双通道声表面波转速传感器
被引量:
5
1
作者
严庆文
魏益群
李业隆
沈美娥
朱嘉林
机构
北京信息工程学院
北京工商大学
出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第7期260-262,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(60374040)
北京市自然科学基金资助项目(2063027)
文摘
以声表面波中的陀螺效应为理论基础,通过数值计算获得了LiNbO3基底上声表面波波速随基底转动速率的变化,以此为依据设计了一种双通道声表面波转速敏感结构,制作出双通道声表面波转速传感器。通过实验,该传感器的分辨率为12Hz/r.s-1。
关键词
声表面波
陀螺效应
角速力传感器
Keywords
SAW
gyroscopic effect
rotation sensor
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双通道声表面波转速传感器
严庆文
魏益群
李业隆
沈美娥
朱嘉林
《微纳电子技术》
CAS
2007
5
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职称材料
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