HL-2M装置CO_2色散干涉仪的金属角锥反射镜特性研究

针对金属角锥反射镜的加工装配误差对传输光路的影响,研究了金属角锥反射镜二面角误差与反射光束的关系。详细分析了金属角锥反射镜表面面型及形态对反射特性的影响,并对不同角锥反射镜各个区域的反射率进行测量对比,对金属角锥反射镜的偏振特性也进行分析。研究结果表明,应用于HL-2M装置CO_2色散干涉仪中金属角锥反射镜的表面面形加工精度应在0.3μm之内,二面角的装调误差宜为正公差且控制在30'内,且表面镀膜的膜层牢固不易脱落。

基于激光泰曼干涉仪的角锥反射镜误差测量

推导了干涉法测量角锥反射镜的综合偏差与其二面角误差之间的关系,总结了干涉法测量角锥反射镜干涉图的特征与判读规则,并搭建激光泰曼-格林干涉仪对待测角锥反射镜进行了实测分析。实验结果表明,该理论方法和激光泰曼-格林干涉仪能够实现角锥反射镜二面角误差小于1″的精确测量。

回转内圆柱面的非拼接干涉测量方法

介绍了一个特殊结构的干涉测试方法和系统,基于Fizeau(菲索)干涉原理,通过一高精度直角圆锥镜来实现圆柱坐标系与直角坐标的转换。该系统可以用来测量360°回转圆柱的表面形貌,并且无需图像拼接,可一次性获取整周的面形数据。通过对系统主成分误差的计算分析,及Matlab软件数值仿真,建立了圆柱坐标系下的误差校正矩阵。并针对一环形样品进行实际测量,测试结果经过主成分误差校正后,与Taylor Hobson接触式圆柱度仪的测量结果一致,通过最小二乘圆(LSC)的圆度评定方法计算得到的圆度误差值十分接近。实验结果表明:该测量方法可有效地实现圆柱体整周表面形貌的测量,解决了目前回转光学元件的测量难度大、测试效率低等问题。