空心角隅棱镜在激光干涉测角中的应用

阐述了激光小角度测量装置中使用的实心角隅棱镜由于制造和安装误差对测量结果所造成的影响,同时提出利用空心角隅棱镜可以解决问题的理论依据,通过应用实验效果对理论给予验证。

精密激光小角度测量装置设计

本文激光小角度测量装置采用正弦原理和激光干涉技术,实现对小角度量高准确度测量。该装置具有独立的回转轴系,可确保稳定性;采用400mm大臂长结构设计,可提高灵敏度;空心式角隅棱镜等光学器件设计和光源的选择,可避免多种误差源的干扰。同时,在高准确度的小角度计量方面,提出了多种新的设计和改进,实现了小角度测量误差优于0.05″,并通过同等级仪器间的测量比对,验证整套装置良好的测量效果。

基于激光准直法的多孔同轴度测量仪

本文针对目前国内在测量多孔同轴度中需在线或临床测量的技术问题 ,提出了基于激光准直法的大尺寸多孔同轴度测量技术 ,基于该技术研制了一种新型的智能型多孔同轴度测量仪。经测试整机测量精度为 0 .0 0 5mm。

一种廉价的机床用激光干涉系统

本文描述了一种用于测量直线位移,具有亚微米级分辨率的小型激光干涉系统,并对其性能的初步鉴定情况作了报道。四象限光电二级管探测器还能灵敏地同时显示两个轴线方向内的直线性。